原创力文档反应离子深刻蚀中硅玻璃结构footing效应的实验研究 experimental study on the footing effect for sog structures using drie.pdfVIP
- 155
- 1
- 约3.77万字
- 约 6页
- 2017-08-13 发布于上海
- 举报
反应离子深刻蚀中硅玻璃结构footing效应的实验研究 experimental study on the footing effect for sog structures using drie
第29卷第6期 半 导 体 学 报 V01．29No．6
2008年6月 JOURNALOFSEMICONDUCTORS June，2008
onthe for DRIE
EffectSOGStructures
ExperimentalStudy Footing Using
YanGuizhen’
Meili，and
DingHaitao，YangZhenchuan，Zhang
(National ofMicro／NanoFabrication In
您可能关注的文档
- 发力十二五,创新幸福家电格兰仕uovo掀启中国家电智造时代.pdf
- 发挥新闻宣传价值积聚企业发展正能量 business intercourse enterprise should bring news publicity value into play, gather development positive energy.pdf
- 发热电缆的选用与安装.pdf
- 发射天线选择空时分组码的误符号率分析 symbol error probability analysis for transmit antenna selection using orthogonal space-time block codes.pdf
- 发射台真空器件库恒温控制系统的设计 design of constant temperature control system for vacuum device library of the station.pdf
- 发烧友王成东玩投影就是玩心跳.pdf
- 发生在两台135 mw发电机上的同类定子故障 same kinds of stator failure happened in two sets of 135 mw generator.pdf
- 发生220kv线路重合闸拒动的原因分析.pdf
- 发现arri——专访arri中国区总经理刘森林.pdf
- 发展3dtv需解决的技术及其应用趋势 overview on key technologies and application trends of 3dtv.pdf
- 第1课时计数原理及其简单应用课件2025-2026学年高二下学期数学人教A版选择性必修第三册.pptx
- 平行四边形的性质第2课时课件2025-2026学年北师大版数学八年级下册.pptx
- 第九单元溶液复习课件2025-2026学年九年级化学人教版下册.pptx
- 用坐标表示平移（1）课件2025-2026学年人教版七年级数学下册.pptx
- 复数的加、减运算及其几何意义课件-2025-2026学年高一下学期数学人教A版必修第二册.pptx
- 分类加法计数原理与分步乘法计数原理课件2025-2026学年高二下学期数学人教A版选择性必修第三册.pptx
- 用坐标表示平移（2）课件2025-2026学年人教版七年级数学下册.pptx
- 用坐标描述简单几何图形课件2025--2026学年人教版七年级数学下册.pptx
- 课时2选择方案（课件）2025-2026学年人教版（2024）数学八年级下册.pptx
- 平移课件2025-2026学年人教版数学七年级下册.pptx
文档评论（0）