Alpha-step 操作手册 - 国立高雄第一科技大学.PDF

表面輪廓儀 操作手冊 Alpha-step 操作手冊 一、儀器概述 1.廠商： KLA-Tencor 2. 型號： Alpha-Step IQ 3. Alpha-Step IQ輪廓儀是一種電腦化的、高靈敏度的表面輪廓儀，可測量粗糙度、波紋 度和段差高度，應用範圍非常廣泛。該輪廓儀可測量微粗糙度，短距離情況下高達 1Å （0.004 微英寸）或更低解析度，還可通過掃描測量最長爲 10 毫米（ 0.4 英寸）的表 面波紋度。計算機具有測量控制、資料存儲、分析及聯網的強大功能。 Alpha-Step IQ可測量各種材料，包括： •磁片 • 半導體晶圓 • 精密加工和抛光面 • 微電子陶瓷 • 平面顯示器玻璃 • 光學表面 Alpha-Step IQ 具有以下特性： • 縱向測量範圍從 100 Å （0.4 微英寸）以下到大約 0.4 mm （15.7 mill），縱向 解析度分別爲 0.012 Å或 0.24 Å （0.049 毫微英寸或 4.9 毫微英寸）。 • 橫向解析度僅受探針半徑的限制，而不受資料點數的限制。但是，兩個數據點 之間的最小間距爲 0.01 µm 。 • 很多粗糙度和波紋度參數的測量，由用戶可選擇的截止濾波器將粗糙度和波紋 度分離。 • 具有擬合和平衡資料能力，可對曲面進行精確測量。 • 可重複掃描多達 10 次，並自動計算平均值，因而使測量時環境雜訊的影響降 到最低。 • 可適應最大 150 mm （6 英寸）寬和 15 mm （0.59 英寸）厚的樣品。 Alpha-Step IQ軟體與 Windows XP 相容。至少需要 256 MB的 RAM 方可確保螢幕 解析度達到 1024x768 ，16 位色。 電腦和掃描器之間通過 USB 連接。雖然只提供了一條 USB 電纜，但內部使用了兩 個 USB 通道：一個用於和機台的主機板通信，另一個用於數位化視訊。 可從 PC顯示器或外接視訊顯示器（選配件）上看到圖像。 國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系微機電系統實驗室 2004.04 表面輪廓儀 操作手冊 二、儀器外觀與基本操作原理 掃描原理為內部有一感應器可以清楚的紀錄每一水平掃描的點之數值，並且將其數據轉 換成圖形以供參考使用。 國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系微機電系統實驗室 2004.04 表面輪廓儀 操作手冊 三、基本操作方式 啟動系統 首先打開地上延長線的開關在打開電腦，等候 Windows啓動，由桌面捷徑開啟 Alpha-Step IQ軟體。 •顯示 KLA-Tencor 登錄螢幕。 • 升降臺移動到初始位置，系統執行各種自檢程式，並在螢幕上顯示出一條條自 檢訊息。這個過程大約持續 20 秒。 • 升降臺移動到初始位置後，輸入“用戶名 ”和 “密碼” 以使用儀器。 •顯示主螢幕，資料獲取控制出現在螢幕的上半部分。 ※ 注意：當探針碰到一個高於探針尖的斜面高度，即高於 880 µm （34 mill ）的障礙物時， 就會發生損壞。請參見下圖。 對於使用“垂直範圍”2000 µm 掃描此類特徵的用戶來說， 最好的方法是從零件的頂部開始掃描，並讓探 針從高處向下下降。此外，如果較短的物體 有鋒利的棱角或毛刺，則會刺入探針尖部而損壞探針。 880 µm 國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系微機電系統實驗室 2004.04 表面輪廓儀 操作手冊 ※以下幾種情況有可能會損壞探針臂元件： 1. 如