一种大力矩大位移微纳压电致动器的瞬态响应-电工技术学报.pdf

20 15 年 1 月 电 工 技 术 学 报 Vol.30 No. 2 第 30 卷第 2 期 TRAN SACTION S OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY Jan . 20 15 一种大力矩大位移微纳压电致动器的瞬态响应 1, 2 1 1 1 靳宏 , 胡敏强 ,徐志科 ,潘非非 1. 东南大学电气工程学院 南京 2 10096;2. 扬州大学水利与能源动力工程学院 扬州 225 127 摘要 基于三角放大原理，利用压电叠 设计并制造了一种具有高精度大力矩、大位移的致动 器，并对其动静态特性进行测试分析。文中还采用 Ansys 、Matlab 软件以及动态投影栅线法，从 理论和实测两个方面对该致动器在加载电压和撤除电压时的瞬态响应特性进行了分析和测试，理 论分析和实测结果吻合度较高。 该压电致动器在通入激励电压时，响应速度快，电压 -位移的线 性度好；在撤除激励电压时，响应特性过程平稳。为该致动器广泛运用于微纳控制系统中，成为 微纳系统中可靠、快速的大位移大力矩驱动部件的应用前景提供了依据。 关键词：压电叠 ;位移放大;致动器;瞬态特性 中 分类号：TM35 Transient Response Characteristic of High Torque and Large Displacement Micro-/Nano Piezoelectric Actuator 1, 2 1 1 1 J in H ong ,H u M inqiang ,X u Zhike ,Pan F eif ei 1. Southeast University Nanj ing 2 10096 China;2. Yangzhou University Yangzhou 225 127 China Abstract According to the principle of triangulation amplification and the application method of piezoelectric stack, this paper designs and makes out a kind of actuator, having high precision, high torque and large displacement . In this paper, the actuator ’s static and dynamic characteristics are analyzed. The AN SY S, Matlab software and dynamic fringe proj ection method are used to analyze and test the actuator ’s transient response characteristic from theory and actual measurement, when apply and remove the voltage. The real test result coincides with the theory analysis. When the voltage is applied, the piezoelectric actuator owns quick response speed and high vol