大口径标准镜绝对面形精度传递方法-强激光与粒子束.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２５ １２ Ｖｏｌ．２５ Ｎｏ．１２ 　 　 年 月 ， ２０１３ １２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｄｅｃ． ２０１３ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１３１２３２１００５ 　 大口径标准镜绝对面形精度传递方法 徐凯源， 李 强， 刘 昂， 高 波， 何宇航 　 　 　 　 　 　 　 （成都精密光学工程研究中心，成都 ６１００４１） 摘 要： 提出了一种大口径干涉仪标准镜绝对面形精度的传递方法，在已知一台干涉仪参考镜绝对面形 　　 　 　 的前提下，可向待测标准镜进行精度传递。由于检测温度与使用温度的不同，待测标准镜在另一台干涉仪作参 考镜时，绝对面形会发生变化，变化集中在离焦量上；在待测标准镜使用状态下，通过对经典三板互检法得到的 竖直方向直线绝对面形的分析，得到标准镜使用状态离焦量的估计，以此修正直接精度传递结果，最终得到待 测标准镜使用状态下的绝对面形。比较同一块光学元件在两台干涉仪上标定前和标定后的测量结果，标定后 的面形差值更小且分布一致性更好，证明了本方法的有效性和可行性。 关键词： 波前检测； 面形精度传递方法； 高精度面形检测； 干涉检测； 光学仪器 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ４３６．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ３２１０ 　　 　 　　　　 　 　　 等精度传递理论是仪器仪表领域广泛运用的一种精度继承方法，一般用于计测统计性质仪器仪表的校准 　　 与标定，仪器仪表重复性足够好的前提下，经精度传递后，下级仪器仪表的精度可以接近或者达到溯源仪器仪 表精度。不同于普通仪器仪表，平面标准镜的精度传递有其独有特点，其传递对象是一个二维的面形分布，全 频段传递一个严格的二维面形分布所要求的仪器重复性是极端苛刻的；但大口径平面干涉仪一般专注于中低 频面形信息的检测，其分辨率限制、传递函数瓶颈及检测过程中不可避免的高频扰动，使得二维面形传递过程 中几个像素的无规律错位可被容许，极大地放松了干涉仪对二维面形分布中高频传递精度的要求，也极大地放 松了对干涉仪重复性的要求，这使得环境控制良好的情况下，干涉仪的重复性达到应用精度传递方法的条件。 卧式大口径平面干涉仪是目前精度高、应用广泛的光学元件面形检测设备，其原理基于光的干涉，采用相 对测量方法，通过对参考镜面与待测面形成干涉条纹的数字分析，得到待测元件与标准镜间的相对面形分布。 检测面形加工质量达到干涉仪标准镜精度的元件，须扣除标准镜面形对测试结果的影响，否则会造成不同干涉 ［ ］ １４ 仪检测结果有迥异差别。目前，已有很多可行的全口径面形绝对检测方法 ，但是大口径标准镜的绝对检测 对机电调节机构和环境控制均有很苛刻的要求，检测难度大；另外，由于标准镜环形