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扫瞄式电子显微镜SEM 操作说明书 - 国立彰化师范大学
國立彰化師範大學機電工程學系 薄膜材料及元件實
驗室
掃瞄式電子顯微鏡
Scanning Electron Microscope
SEM操作說明書
中 華民 國 104 年 2 月 22日
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目 錄
1 、操作驟步各項說明…………………………………………………… 2
2 、SEM操作作業系統各項功能解釋 ………………………………… 3
3 、手動操作按鈕………………………………………………………… 4
4 、操作鍵盤……………………………………………………………… 5
5 、試片觀察範圍………………………………………………………… 8
6 、SEM試片準備 ………………………………………………………… 9
7 、鍍金機操作步驟……………………………………………………… 9
8 、開機步驟……………………………………………………………… 10
9 、關機步驟……………………………………………………………… 11
10、電子顯微鏡操作注意事項……………………………………………11
I
1
國立彰化師範大學機電工程學系 薄膜材料及元件實驗室
NCUE Department of Mechatronics Engineering plasma Applacation Lab.
冰 水 機
冷 氣
抽氣泵
箱
源
電子腔體 電
機
操 濕
作 除
樣品台 台
機
金
鍍
抽氣泵
箱
潮
防
電子顯微鏡擺設示意圖
2
國立彰化師範大學機電工程學系 薄膜材料及元件實驗室
NCUE Department of Mechatronics Engineering plasma Applacation Lab.
1 、操作驟步各項說明
Z-axis knob
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