.单晶炉籽晶杆的热处理.pdf

维普资讯 、， 年晶妒，莉 奸 烈 嘎 “——— 工鬯 j艿一 单 晶 炉 籽 晶 杆 的 热 处 理 陕西机械学院工厂 垫量墨 T f￡2．7Y r摘蔓J 本文介绍了蝴 3籽晶秆的热处理，讨论了影响淬火变形及表面质量的因素，重点讨论 了淬火趁热校直原理及操作方法和步骤． 尺寸。 前 言 裹 1 三种型号单量妒耔量杆的主薹尺寸 我院工厂是研制单晶炉 的定点单位之 单晶炉型号籽晶杆编号l外釜墨寸_内釜墨寸长度尺 一 。 籽晶杆是单晶炉中的一种关键零件，它 TDB0三 E 叵 1030 在炉腔的真空室内工作，籽晶杆内采用水冷。 TD]加 35 20808 I28 【15．5 1280 由于用于生长单晶体处于高温熔化状态，其 TDR60 40301 ； 瓤 }20 —1l暮『：r 2070 多晶挥发物有一定腐蚀性。因此，要求籽晶 杆具有一定的热稳定性、耐蚀性、耐磨性和较 籽晶杆热处理后硬度和弯 曲变形要求见 高的机械强度。经热处理后，4Cr]3籽晶杆在 表 2 这种环境下工作可以满足要求。 裹2 籽量杆热处理技术耍衷 籽晶杆长度大，直径小，甘是空心体。其 (磨创余量为 0．6mr．) 加工制造和热处理均有较大难度。特别是经 过高温加热淬火，淬火弯曲变形较大，必须采 取淬火趁热校直，才能有效拉镧变形量，满足 技术要求。 一 、 籽晶杆技术要求 ……一～ 一一 图】为我厂产量较大的TDR40单 晶炉 二 、 籽品杆制造工艺过程 40308的籽晶杆简图和主要尺寸。 下料——校直——高温时效——粗 车 — — 钻深孔——半精车——高温或中温时效 — — 精车——淬火、趁热校直、回火——粗磨 — — 低温时效——精磨。 籽晶杆取材于4Crl3棒料，棒料轧后和 运输过程造成一定弯 曲。下料后应先校正，进 图1 TDR40-40308籽晶杆图及主要尺寸 行高温时效。高温时效 目的是消除应力，使 表 1列出三种型号单晶炉籽晶杆的主要 原轧制后变形晶粒得 以恢复、碳化物聚集和 一 88一 1蛔呀．8 ·铸锻热——热处理实践 维普资讯 部分球化，见照片 1口、6(略) 第二次时效主 把籽晶杆从钢管内抽出，平着淬入管状的专 要 目的是消除机加工引起的应力。第一次时 用硝盐槽 内。这种非常规格的加热和冷却，使 效时组织变化趋势在第二次 时效 时仍在进