电子探针扫描电镜显微分析.pdfVIP

第八章 电子探针、扫描电镜显微分析 中国科学院上海硅酸盐所 李香庭 1 概论 1.1 概述 电子探针是电子探针X 射线显微分析仪的简称，英文缩写为 EPMA(Electron probe X-ray microanalyser) ，扫描电子显微境英文缩写为 SEM （Scanning Electron Microscope ）。这两种 仪器是分别发展起来的，但现在的 EPMA 都具有 SEM 的图像观察、分析功能，SEM 也具 有 EPMA 的成分分析功能，这两种仪器的基本构造、分析原理及功能日趋相同。特别是现 代能谱仪，英文缩写为 EDS （Energy Dispersive Spectrometer ）与 SEM 组合，不但可以进行 较准确的成分分析，而且一般都具有很强的图像分析和图像处理功能。由于 EDS 分析速度 快等特点，现在 EPMA 通常也与 EDS 组合。虽然 EDS 的定量分析准确度和检测极限都不 如 EPMA 的波谱仪（Wavelength Dispersive Spectrometer ，缩写为WDS ）高，但完全可以 满足一般样品的成分分析要求。由于 EPMA 与 SEM 设计的初