含氢dlc膜的疏水性研究-表面技术.pdf

表面技术 第 45 卷 第 5 期 ·154 · SURFACE TECHNOLOGY 2016 年 05 月 表面强化及功能化 含氢 DLC 膜的疏水性研究 魏晓丽，张玲，陈厦平，王辅明 （厦门大学 物理与机电工程学院，福建 厦门 361005 ） 摘 要：目的 通过疏水性质的研究，证明源电极式和浸入式 PECVD 方法制备含氢 DLC 膜存在结构 和性质上的差别，并且证明浸入式PECVD 方法制备的含氢DLC 膜更适于需要强疏水性的表面改性应 用。方法 在PECVD 腔体中通入甲烷和氢气混合气体，同时在面对源电极的绝缘样品架上放置石英基 片并沉积类聚合物DLC 膜；在源电极上放置石英基片并沉积常规含氢DLC 膜。在PECVD 腔体中通 入乙炔、氢气和四氟化碳混合气体，在面对源电极的绝缘样品架上放置石英基片并沉积掺氟DLC 膜。 改变气体压强和射频功率，生长一系列含氢DLC 膜。利用紫外可见近红外光度计测试DLC 膜的透射 谱，扫描电子显微镜及原子力显微镜测试其表面形貌。利用接触角测量仪测试两种含氢DLC 和一种掺 氟DLC 膜表面与水、甘油、乙二醇的接触角，并计算其表面能。比较两种含氢DLC 膜接触角和表面 能的差别，并根据类聚合物DLC 膜的微观结构分析可能的原因。比较掺氟和不掺氟DLC 膜的接触角 并讨论比较结果。结果 类聚合物DLC 膜的接触角和表面能与具有相同光学带隙的常规含氢DLC 膜存 在明显差异。类聚合物DLC 膜的接触角更大，表面能更低，因而具有更强的疏水性。类聚合物和常规 含氢DLC 膜与蒸馏水的接触角最大分别为91.2° ° 和79.2 。类聚合物DLC 膜中的碳原子具有更高的氢化 率，可能是它表面能低和疏水性好的原因。掺氟DLC 膜的接触角比具有相同带隙的类聚合物和常规含 氢DLC 膜都低，这与文献报道的掺氟能提高接触角的现象完全相反。结论 类聚合物DLC 膜的疏水性 更强。结合其更小的内应力、更宽的光学带隙范围和更快的生长速度等特征，使它在医疗、光学保护 涂层等领域具有更强的应用性。浸入式 PECVD 方法生长的掺氟 DLC 膜不但未提高反而降低了 DLC 膜的疏水性，需要更多的研究来揭示其中的原因。 关键词：类金刚石；PECVD ；含氢；掺氟；带隙；接触角；疏水性 中图分类号：TG174.444 文献标识码：A 文章编号：1001-3660(2016)05-0154-08 DOI ：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.05.024 Hydrophobic Properties of Hydrogenated DLC Films WEI Xiao-li, ZHANG Ling, CHEN Xia-ping, WANG Fu -ming (School of Physics and Mechanical Electrical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China) 收稿日期：2016-01-22 ；修订日期：2016-04- 16 Received ：2016-01-22 ；Revised ：2016-04- 16 基金项目：国家重点基础研究发展计划（2012CB933502 ） Fund ：Supported by the National Basic Key Research and Development Program (2012CB933502) 作者简介：魏晓丽（ 1991— ），女，硕士研究生，主要研究方向为类金刚石薄膜的结构、性质及应用。 Biography ：WEI Xiao-li( 1991— ), Female, Master g