光电反馈式静电悬浮的光电控制系统-光子学报.pdf

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2017-08-16 发布于天津
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光电反馈式静电悬浮的光电控制系统-光子学报

31 2 . 31 . 2 V ol N o 2002 2 A CT A PH OT ONI CA SI NICA Febr ua ry 2002 王新杰　章海军　黄　峰 ( , 310027) 本文给出了基于直流高压静电场的光电反馈式静电悬浮系的实现方案, 介绍其工作原理, 主要讨论该悬浮操作的技术核心-光电控制系 , 提出了光电控制系中的单元技术: 激光三角法测距和比例积分差动( PID) 控制的实现方案 . 我们采用仅有一路伺服控制的光电控制系进行实验, 获得了绞好的结果 . 实现了悬浮体的开关式悬浮控制. 证明了我们的光电控制系是完全可行的. 静电悬浮直流高压光电反馈比例积分差动控制激光三角法 0 , 1 . , , . , 13 . , , , , 4 , . , ( ) . , ( Waf er ) . 123( ) , ( . , . ( CD ) ( L CD) , , 5 . , , . 1 1 Fig . 1Blo ck dia gr am of electr ostatic su spen sio n . w it h o ptoelectro nic f eedb ack co ntro l 国家自然科学基金( 598770 15) 和教育部博士点基金(16) 资助项目　收稿日期: 2001-06-13 188 30 ) . 2 . , , , , , PSD ( Position . Sen sit ive Det ect or) . P SD X Z, 6 7 x PSD . - 1 n 2 2 0 r j F = - ( 1- ) ( S V / 2d ) i= 1 = / [ + ( + ) ] ( 3) Z x msin n sin x sin - 1 2 2 = - 0( 1- r ) ( SV / 2d ) ( ) ( 3) Zx , = ( 1) 0 0