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霍尔传感器及其性能优化 hall sensor and optimization of its performance

霍尔传感器及其性能优化 王俊 (华南理工大学微电子研究所,广东 广州 510640) ¨ ,● ”。 ,々 J’、 4^ ●』, :摘 要:霍尔效应是一种发现、研究和应用都很早的磁电效应。霍尔效应的研究在当今已取得了茔牛多突破性 :戆逡爱,在势攀菝謇懿诲多领域郝有豢广泛夔痉秀。蠲述了鬈容传感器豹蘩零王律涿遴及应蘩,谗论了霉笨传 :感器的灵敏度、失调电压、嵇噪比等重要性能参数,通过研究檬尔片形状和结构对霍尔效应的影响,提出了一 :些性能优化方法。 r关键词:霉容传感器;灵敏度;失谖毫匿;蘩礞魄;侥讫方法 j中圈分类号:TP212文献标识码:A of Performance HallSensorand its Optimization WANGJun ofSouthChina of ofMicro—electronics 510640,China) (Institute UniversityTechnology,Guangzhou Effectisa effectwhichwas and Abstract:Hallmagneto-electric discovered,studiedapplied in HallEffecthasmadealotof itis used veryearly.Theof breakthroughs,andwidely many study fieldsofscienceand basic of and oftheHallsensor theoryoperation technology.The application wasillustrated.Some and voltage importantperformanceparameters,such纛蒜sensitivity,offset of 7S ratiowere theeffectdifferentkindsofHall shape signal-to—noisediscussed.Bystudying plate and methodswere architecture,someoptimization presented. meth- words:Hallsensor;sensitivity;offsetvoltage;signal-to-noiseratio;optimization Key ods 1 引言

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