机械振动对直拉法si单晶生长的影响 influence of mechanical vibration on czochralski si crystal growth.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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机械振动对直拉法si单晶生长的影响 influence of mechanical vibration on czochralski si crystal growth.pdf

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机械振动对直拉法si单晶生长的影响 influence of mechanical vibration on czochralski si crystal growth

技术专栏 TechnologyColumn 机械振动对直拉法Si单晶生长的影响李巨晓，庄力 (杭州海纳半导体有限公司，杭州310027) 摘要：机械振动是直拉法单晶生长过程中不可避免的因素，影响单晶的正常生长。从生长机理方面看，传递到熔体的振动会引起熔体内对流的变化，对固．液界面的稳定性造成干扰，从而影响单晶的品质和无位错生长；从操作控制方面而言，熔体的振动会使引晶变得困难，也不利于等晶生长过程中的自动控制，造成了生产周期的相对延长，从而增加了生产成本。分析了实际生产过程中振动的来源及其对单晶生长的影响，并探讨了一些抑制振动的方法来消除这一影响。关键词：直拉法；硅单晶；振动中图分类号：TN305．1文献标识码：A of Si Growth InfluenceMechanicalVibrationonCzochralsH Crystal Li Li Juxiao，Zhuang 310027，吼讹) (凰嘲出“Ha／ha,m／condua研cD．，Ltd．，Hangz／um vibrationisaninevitablefactorinczochralskiSi the Abstract：Mechanical crystal growth growth．From mechanism whichtransfemtomeltwillaltertheconvectionanddisturbthe of aspect，vibration stabilitygrowth ita￡f：ectsthenon-dislocationanddeterioratesthe of thecontrol interface，thus growth qualityingot．From vibrationwillmake d瓶edtandmake automaticcontrolin aspect，melt seedingprocess against bodygrowth． of anditsinfluenceonsilicon somemethodsto ne vibration origination crystalgrowth删analysed，and vibrationwerediscussedanditsinfluenceW／18eliminated． restrain words：Czochralski Key method(cz)；silicon-crystal；vibration EEACC：0560 种旋转并慢速向上提升，熔液中的si原子会在固． 0引言液界面上继续结晶，并延续其规则的原子排列结 Si单晶是半导体微电子材料中最重要也是应用构。若整个结晶