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蓝宝石基板产业发展与未来展望华南投顾陈勇廷
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藍寶石基板產業發展與未來展望
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報告大綱
•藍寶石磊晶基板材料特性
•藍寶石基板生產流程
•藍寶石基板市場分析
• 個股推薦
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藍寶石磊晶基板材料特性
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華南投顧 藍寶石基板的應用
藍寶石基板為目前LED磊晶基板的主流.
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磊晶材料的特性
材料/基板 磊晶製程 波長 光色
GaP/GaP LPE 565 ~700 紅、黃、綠
GaAsP/GaP VPE 630 ~650 紅、橙、黃
AlGaAs/GaAs LPE 660 紅
GaP
ZnCdSe MBE 565 綠
InGaAlP/GaAs
InGaAlP/GaP
MOCVD 570 ~645 黃綠~紅
InGaAlP/Sapphire
InGaAlP/Silicon
InGaN/Sapphire
藍、藍綠、綠、
InGaN/Silicon MOCVD 430 ~525
白(藍光+螢光粉)
InGaN/SiC
材料決定製品波長與 Source: 工研院 IEK
光色
磊晶基板上的材料關係到LED發光的顏色.
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華南投顧 晶格差異造成發光效率減低
n-GaN的晶格常數為5.19Å
N-GaN
Sapphire
Sapphire的晶格常數為4.758Å
材料之間因為晶格常數不同、所以在磊晶成長時會因晶格的不匹配、造
成dislocation。
晶格的不匹配,造成內部量子效率降低。增加漏電路徑。
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藍寶石基板生產流程
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華南投顧 藍寶石材料長晶流程
長晶技術具有很高的門檻,需考量到轉速、溫度、與材料品質,牽涉到熱
力學的相關技術的應用.
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