基于数字锁相放大器的原点检测技术 a digital lock-in amplifier based on contact detection technique.pdfVIP

l豳圜嘲 Research．Development 丽丽葡iiiiiiiiii蕊赫i丽iiiii 基于数字锁相放大器的原点检测技术 Lock·in BasedonContactDetection AⅨgital Amplifier Technique 周时禹 赖磊捷 谷国迎 朱利民 (上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室，上海200240) 摘要：针对微纳加工中原点检测精度低的问题，提出了一种基于数字锁相放大器的新型原点检测技术。 通过微力传感器检测基底与模板之间的接触力，并添加了激振器模块和数字锁相放大模块。激振器模块使用参 考正弦信号驱动基底按一定频率振动，同时将测得的微弱接触力信号经过数字锁相放大模块与参考信号进行相 关计算，提取接触力振幅以实现接触检测。实验结果表明，该方法消除了温漂等外部干扰对接触检测带来的影 响，能够达到纳米级的零位检测精度。 关键词：数字锁相放大器微纳加工原点检测 DoI：10．3969／i．issn．1007—080x．2013．04．009 Abstract：This a lock-in on todetectthe paperpresentsdigital amplifier(DLIA)basedtechnique template· themicroforce substratecontactin contactforcebetween andsubstrateismeasured nanolithography．The template by sensor．The controlsthe tooscillateatreference DU慷correlatesthe shakermodule substrate frequency．The acquired force withthereference theoscillation andrealizesthecontact signal signal，extracts amplitude resultsdemonstratethatthe DLIA makesthe contacttonanometer technique accuracy． developed template-substrate lock-in contactdetection Keywords：digitalamplifiernanolithography 0 引 言 别口’41。这样，加工原点的检测精度成为影响整体精度 随着科学技术的快速发展，各种微纳加工技术得 的主要因素，因此，有必要研究提高加工原点检测的精 到发展和应用。其中电化学微纳加工由于具有的效率 度。国内外学者也提出了一些解决方案：在Randall的 高、加工面积大和精度高等优点逐渐成为微纳加工领 纳米压痕仪中¨1，通过检测最新30个力值信号的拟合 域的研究热点¨’21。对于电化学微纳加工，限制其进一 斜率来判断接触状态；Ferreira通过监