基于稀释波导的inp衬底上高耦合效率、低偏振敏感度1.55μm波长光纤-波导耦合器 a high-efficiency fiber-to-waveguide coupler with low polarization dependence using a diluted waveguide in inp substrate with a 1.55μm wavelength.pdfVIP

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2017-08-14 发布于上海
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基于稀释波导的inp衬底上高耦合效率、低偏振敏感度1.55μm波长光纤-波导耦合器 a high-efficiency fiber-to-waveguide coupler with low polarization dependence using a diluted waveguide in inp substrate with a 1.55μm wavelength.pdf

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基于稀释波导的inp衬底上高耦合效率、低偏振敏感度1.55μm波长光纤-波导耦合器 a high-efficiency fiber-to-waveguide coupler with low polarization dependence using a diluted waveguide in inp substrate with a 1.55μm wavelength

第29卷第1期半导体学报 V01．29No．1 2008年1月 JOURNALOFSEMICoNDUCTORS Jan．，2008 A withLow High—-EfficiencyFiber-to--WaveguideCoupler aDiluted inInPSubstrate DependenceUsing Waveguide witha Wavelength+ 1．55IJLm Yun，Zu0Yuhua+，Gu0 Buwen， Zhang Jianchuan，DingWuchang，Cheng Yu Jinzhong，andWangQiming 100083，China) (State ofSemiconductors，ChineseAcademyofSciences，Beijing KeyLaboratoryofIntegratedOptoelectronics．Institute a forside—illuminated toobtain and Abstract：We P-i-nphotodiodeshighresponsivity proposefiber．to．waveguidecoupler andissuitableforsurface inlowcostrood— low thatis onInPsubstrate polarizationdependencegrown hybridintegration ules．The isbasedonadiluted is often of 120nm fiber—to—waveguidecoupler waveguide，whichcomposedperiodsundoped beam thesemi—vectorialthreedimensional InP／80nm propagation InGaAsP(1．05／1mbandgap)multil：}lelayers．Using thecentraldifference of underdifferentcondi— method(BPM)with scheme，the couplingefficiencyfiber—to—waveg