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新型耐磨损硬质复合薄膜技术 ————陀螺仪部件多层复合梯度硬质膜层的研究报告 陀螺仪动压马达在起停和旋转时，会产生碰撞和摩擦，造成陀螺仪动压马达使用寿命的降低，进而影响整个系统的运行寿命。因此，陀螺仪动压马达需要达到耐磨损、高硬度、低摩擦系数的使用性能指标。其基体材料铝基复合材料的硬度比较低、摩擦系数较大、耐磨性耐腐蚀性较差，需要在铝基复合材料上通过多层复合梯度膜层来改善性能。 本研究采用不同的方法和工艺对立体试样进行了适当的预处理后，制备Ti/TiN的过渡层，在此基础上制备含氢的类金刚石薄膜（DLC），以满足其性能要求。 研究方案 AlN增强2024铝基复合材料（AlN/Al）作为一种新开发的复合材料，10 - 6/ K范围内调整变化，机械性能介于铝合金和铍合金之间，因而很适合航空航天结构件的应用。AlN 颗粒除具有低膨胀和高导热的特性之外强度较低，作为金属基复合材料的增强体会显示出与其它高强度颗粒不同的特征。AlN颗粒可以与基体变形相协调产生微小变形，从而减小应力集中、延缓断裂过程，获得较高的强塑性综合性能。 但是，AlN增强的铝基复合材料的硬度还是比较低、摩擦系数较大、耐磨性耐腐蚀性较差，难以满足一些精密仪器的特殊要求。而TiN等硬质膜层具有摩擦系数小、硬度高、耐磨性好和抗氧化性能等优点，在工件上镀TiN膜可以改善工件性能，极大延长工件使用寿命。 众所周知，铝基复合材料的膨胀系数与TiN、TiC等硬质膜的膨胀系数相差很大（铝合金的膨胀系数为24×10 - 6/ K，而TiN为9.2×10 - 6/ K， TiC为8×10 - 6/ K），而且铝基复合材料表面的氧化物极大地影响膜基结合力。近年来，采用表面离子注入、喷丸粗化、制备过渡层及热处理等方法来改善膜层结合力，但是都不能从根本上解决薄的氧化铝陶瓷膜和大的热膨胀系数差异问题，难以满足航空航天工程的高要求。 通过一层或多层的中间层系统作用于硬质镀层和基体材料之间改善它们的适应性，缓解化学键、热膨胀系数等性能的差别，这就是多层镀层的主导思想。 在完成平面试样表面镀多层复合硬质薄膜的工艺研究后，在如附件所示的零件上进行立体件试样复合梯度膜层的镀膜研究和考核。 经多次试验后，确定如下试验方案： 方案一： 机械抛光→除油→预处理(碱洗→酸洗→二次浸锌)→化学镀镍（施镀后进行300℃真空退火1.5h）→抛光→脉冲偏压磁过虑电弧离子镀调制周期Ti/TiN膜→抛光→离子刻蚀→脉冲等离子体增强化学气相沉积制备含氢DLC膜。 方案二： 机械抛光→磁控溅射制备Al过渡层→脉冲偏压磁过滤电弧离子镀制备调制周期Ti/TiN膜→抛光→离子刻蚀→脉冲等离子体增强化学气相沉积制备含氢DLC膜。 二．试验条件 等离子体-离子束源增强沉积系统制备Al/Ti//TiN过渡层及DLC; DMH-2LS超微载荷显微硬度仪测试硬度; 采用ET4000M型表面轮廓仪来测量DLC膜的厚度； MeF3型高温金相显微镜观测化学镀镍层的形貌和截面； JSM-5600LV扫描电子显微镜(SEM)观察试样的形貌和截面； 采用美国DI(Digital Instrument)公司生产的Nano Scope Ⅲa 型原子力显微镜检测DLC膜的表面形貌和表面粗糙度； 采用日本Rigaku公司D/max－2400型X射线衍射仪检测过渡层的相结构； 采用SPEX1403型激光Raman光谱仪分析DLC膜的化学结构； UMT型摩擦磨损试验机上评价薄膜的摩擦磨损性能; 热震法测量薄膜结合力； 三．试验工艺 方案一： 机械抛光→除油→预处理(碱洗→酸洗→二次浸锌)→化学镀镍（施镀后进行300℃真空退火1.5h）→抛光→脉冲偏压磁过虑电弧离子镀调制周期Ti/TiN膜→抛光→离子刻蚀→脉冲等离子体增强化学气相沉积制备含氢DLC膜。 3. 1.1 预处理 试样预处理工序是必不可少的，其重要性并不亚于化学镀本身。预处理目的是获得适合于镀膜的洁净的催化过渡表面。 超声波清洗是为了去除试样表面沾附的油脂、污垢。碱洗过程主要是为了去除铝合金表面的油脂，同时在碱性溶液中，铝合金表面会形成氧化物或氢氧化物。酸洗的目的是除去试样表面的氧化物、松散附着的冷加工金属和己嵌入表面的污垢，使其裸露出铝合金金属基体来。浸锌工艺的关键在于控制锌在铝合金表面局部阴极区域的择优生长，以获得均匀的锌分布。两次浸锌处理相对一次浸锌处理而言，它能降低Zn含量，使Zn层结晶更细致。 3.1.2 化学镀镍 化学镀镍是采用镍盐和还原剂在同一镀液中进行氧化还原反应，并在金属表面形成镀层。研究最终确定采用两步化学镀镍的方案，首先用pH值为8的以NiCO3·2Ni(OH)2·4H2O为主盐，NaH2P02·H20为还原剂，乳酸、柠檬酸和醋酸钠为络合剂的镀液在基材上预镀一层薄膜；再用pH值为4.5~