EDS能谱检测课件.ppt

 EDS原理及应用 ;EDS; ?能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。 ?对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。 ?能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。 ?检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。; 光子能量检测过程 X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后，在晶体内产生电子一空穴对。在低温下，产生一个电子－空穴对平均消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光子产生的电子－空穴对为N＝E/3.8 。 例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成的电子－空穴对为1550个。CaK: 3.7KeV，约产生1,000电子－空穴对。 电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测器输出的电压脉冲高度对应X射线的能量。; 定性分析; 定量分析;试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量成比例，所以只要在相同条件下，测出试样中A元素的X射线强度IA与标样中A元素的X射线强度I(A)比，近似等于浓度比： KA=IA/I(A)～CA/C(A) 当试样与标样的元素及含量相近时，上式基本成立，一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。 KA=CA/C(A)×(ZAF)A/(ZAF)(A) (ZAF)A和(ZAF)(A)分别为试样和标样的修正系数; ZAF定量修正 ZAF定量修正方法是最常用的一种理论修正法，一般EPMA或能谱都有ZAF定量分析程序。 Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关） A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）; 半定量分析 ; EDS的分析方法－点分析; EDS的分析方法－线扫描分析; EDS的分析方法－面分布;;1倍Ag 500X 正 ;El AN Series unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------- C 6 K-series 63.77 66.81 81.86 7.68 1.515 0.441 1.000 1.000 Cl 17 K-series 23.11 24.21 10.05 0.80 0.086 2.794 1.000 1.007 O 8 K-series 8.29 8.68 7.98 1.25 0.119 0.731 1.000 1.00 Ca 20 K-series 0.29 0.30 0.11 0.04 0.001 2.722 1.000 1.017 -------------------------------------------------------------------------------------;EDS检测（镀膜）;Thank you !