片式多层陶瓷电容器生产用薄膜流延设备的研究与开发 research ＆ design on tape casting machine for manufacture of chip mlcc.pdfVIP

皇壬童旦鱼 星墓 蚕 圈 片式多层陶瓷电容器生产用薄膜流 延设备的研究与开发 陈裕锦，汤立云，梁并平 (广东风华高科新宝华电子设备分公司，广东 肇庆 526060) 摘 要 ：随着片式多层 陶瓷电容器 (MultilayerCeramicCapacitor，MLCC)向着微型化 、高容量方 向的发展 ，片式多层 陶瓷电容器的生产工艺．对设备提 出了更高的要求。对 目前 MLCC生产工艺 的主要特点进行 了研究，简单阐述 了常见的片式多层陶瓷 电容器薄膜流延技术 ，提 出了一种实用 型的唇式流延技术 。同时，对薄膜流延设备的工作原理、总体构成、系统控制，以及关键技术进行 了分析和探讨。 关键词 ：多层陶瓷电容器 (MLCC)；唇式流延 ；薄膜流延设备 中图分类号：TM205 文献标识码 ：B 文章编号：1004—4507(2012)01—0050—06 Research ＆ Design ontapecasti·n‘gmaCn●l●net^or M anufacture0fChipM LCC CHENYujin，TANGLiyun，LIANGShengping (GuangdongFenghuaAdvanced—techNewbaohuaElectricalEquipmentCO．，Ltc[，Zhaoqing526O60，China) Abstract： W ith MLCC to meet towards the miniaturization of electronic components，high performance，multi-purposedevelopmentand thusformulti—layerceramicchip capacitorsproduction equipmentalsomademore stringentrequirements．MLCC production processofthepresentmain characteristicsofthesutdy，brieflyaddressedseveralcommonmulti—layerceramicchipcapacitorstape castingtechnology，andpresentsapracticalttechniqueoflip—typecast．Asthesametime，’theworking principle，theoverallcomposition，thesystem conrtolandthekey technologiesofthetapecasting machineareanalyzedandresearched． Keywords：MultilayerCeramicCapacitor(MLCC)；Lip—typeCast；Tapecastingmachine 随着 电子信息产业的飞速发展，电子产品对 特性好等特点，广泛应用于电子信息、计算机、自 片式电子元件的需求越来越大、要求也越来越高。 动化控制及通讯等领域 。 片式多层陶瓷电容器具有高比容、高可靠性、频率 如何在 0805、0603、0402、0201等小尺寸基础 收稿 日期 ：2012．01．02 ● 电 字 工 业 董 用 设 备 电子专用设备研制 上制造更高 电容值的MLCC，一直是MLCC业界 钯等构成，在 20世纪末全世界开始采用贱金属 的重要课题之一。近几年随着材料、工艺和设备水 镍、铜取代银、钯 ，大大降低 了MLCC的成本 。 平的不断改进提高，日本有关公司已在 2 m 的 从 MLCC构造来看，似乎MLCC的制造很简 薄膜介质上实现了叠 1000层介质的工艺，生产 出 单 ，但是