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特种微细加工综述 宋奋韬 201011010042 摘要：本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。 关键词：特种微细加工，电火花微细加工，电子束和离子束微细加工，激光微细加工，超声微细加工 1.概述 随着科学研究和国防尖端工业的发展，高新技术产品向功能集成化、超精密化和外形小型化方向发展，使零部件的尺寸日趋微小化。例如，当前便携式录音机的机械和电路的空间容积仅为20世纪60年代产品的l％，进人人体的医疗机械和管道自动检测装置等都需要微型的齿轮、电机、传感器和控制电路。而微型机械的应用也将取得显著的经济效益，如汽车的安全囊传感器采用徽细加工技术，把传感器和电路蚀刻在一起，使成本从每套25美元降到l0美元。以上种种需求导致了自20世纪70年代起出现了微细加工和纳米制造技术，它们也促使了微型机械向系统化方向发展，并形成了有广阔发展前景的微机电系统（MEMS）。 特种微细加工的特点 在微细加技术中，机械微细加工的尺寸和精度受机床精度、刀具尺寸和制度精度诸因素的限制，不可能满足加工更微小尺寸的要求。而特种微细加工具有能量密度高和射束小等特点．可以加工任何硬度、强度、韧性、脆性的金属或非金属材料，且专长于加工复杂、微细表面和低刚度零件，并可以实现逐个分子或原子的切除加工。为此，特种微细加工技术受到世界上工业发达国家的日益重视。 主要特种微细加工简介 3.1 电火花微细加工 电火花微细加工是特种微细加工中发展较为成熟的方法，它非常适合实现微米级结构尺寸的微细加工，同时易_F实现自动化。这对微细加工也是十分有利的。 电火花微细加工一般是指用棒状电极电火花加工或用线电极电火花磨削(WFDG)微孔、微槽、窄缝、各种微小复杂形状及微细轴类零件。加工尺寸通常存数十微米以下，甚至可以加工像聚晶金刚石、立方氮化硼一类的超硬材料。 一般来说，电火花微细加工技术与常规电火花成形加工并无本质区别。但要将电火花加工技术应用于微细加工领域，必须具备3个最基本的条件： 使电极能以稳定微步距进给的高精度伺服系统； 能产生极微能量并且可控性好的脉冲电源； 具备制造微细高精度电极的手段及上艺。 20世纪60年代初，瑞士研制出了世界上第一台电火花微细孔专用加工机床，主要是为了解决当时化纤工业中喷丝板上的微细孔加工难题。随着各种现代技术的出现和发展，对微细加工技术提出了新的应用要求。最近几年以来，日本东京大学生产技术研究所的研究是最有代表性的，其水平也处于国际领先地位。他们研制开发的电火花线电极磨削法(WEDG)是一种极为有效的微细电极与零件制造手段。目前，该研究所在原三轴控制WEDG加工系统基础上，进一步研制了四轴数控的三维成形微细加工机床，以实现微细模具及形状更复杂的零件加工与制造。整个系统包括机床本体、脉冲电源、加T参数功能控制、质量状态监视及NC等各子系统。加T系统的各坐标轴均有一台专用微处理器作定位控制和轨迹控制运箅，另外配用一台主计算机进行四轴联动控制。 在微细加工中，微细孔几何形状的检测一直是难以解决的问题。日本东京大学生产技术研究所最近研制厂一种非破坏性的“振动扫描”测量法，可快速、高精度地测母微细孔内部形状。利用此法他们对直径200μm的微细孔进行了成功的测量。 国外-些发达国家在研究、应用电火花微细加工技术上已达到了较高的水平。如荷兰飞利浦制造技术中心利用电火花微细加工技术在厚度为20微米的金属铂片上加工直径小至20μm的微细孔，其扎边不规则尺寸小于0．2μm，圆度精于0．4μm，口本东京大学生产技术研究所利用电火花微细加丁技术加工微细轴可达到φ10μm×150μm或φ4．3μm×50μm，精度为±O．2μm，已加T出直径为0．5mm，厚O．6mm的微细齿轮。国外已有部分电火花微细加工机床商晶化。 现代电火花微细加工的发展趋势将定为大力发展CNC电火花微细加工技术，积极开展适应控制和加工过程最佳化技术的应用研究，开发应用行星式电火花微细加工技术。 3.2 激光微细加工 激光是20世纪60年代初发展起来的一门新兴科学。它是一种具有亮度高、方向性好和单色性好的相干光，因此在理论上经聚焦后能形成直径为亚微米级的光点，焦点处的功率密度可达到108～1011w／cm2，温度高达10000℃以上，可在千分之几秒内急剧熔化和汽化各种材料。激光束具有良好的可检性，易于进行各种复杂形状的微细加工。目前，激光加工已受到相当重视，几乎对所有金属和非金属材料如钢材、耐热合金、陶瓷、宝石、玻璃、硬质合金及复合材料都可以加工。用于微细加工的激光器主要有红宝石激光器、YAG(钇铝石榴石)激光器、准分子激光器和氩离子激光器等。激光在微细加工中的主要应用有打孔、焊接、修整、调整、光刻等。目前，激光微细加工的