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第 25卷 第 4期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 V01．25 ．No．4 2005年 l2月 Nuclear Fusion and Plasma Physics Dec． 2005 文章缩号 ：0254—6086(2005}40—0300—05 等电位辉光放电电子温度的 光谱测量与计算 王建忠 ，‘隗晓云 ，‘徐晋勇 ，刘燕萍 ，‘高 原 ，‘徐 重 ‘ (1．太原理工大学表面工程研究所 。太原 030024；2．桂林 电子工业学院。桂林 510014) 摘 要：用SII-IV型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下双层辉光等电位放电的发射光谱的相对强度 进行了测量，获得一系列光谱谱线。通过对玻尔兹曼方程式的计算。得到了不同工艺条件下等离子放电时的电子 温度。分析了工件电压 、工作气压对电子温度的影响。结果表明：在本工艺条件下。电子温度随着工件 电压的升 高。先减小后增大，然后又减小。并随着工作气压的增大而单调增大。工作气压的变化较工件电压的变化对电子温 度的影响大。 关键词 ：电子温度；辉光放电；发射光谱；光谱分析 中圈分类号：0539 文献标识码 ：A 1 引言 2 实验装置及原理 双层辉光离子渗金属技术n是利用辉光放电低 2．1 实验装置 温等离子技术在钢铁材料表面实施合金化，通过改 实验中所使用的辉光放 电光谱测量装置如图 1 变钢铁材料表面的成分、组织和结构，改善材料表面 所示。光谱仪为苏州大学生产的sII．Ⅳ型全息凹面 的机械、力学和化学性能，达到提高其使用寿命的目 光栅单色仪，光谱仪扫描波长范围是 3000—7000．~， 的。该技术是近十几年才发展起来的一项新的表面 我们研究的扫描波长范围在 3500—4050／~。 改性技术。在前期的大量研究工作中，主要是针对 2．2 实验原理 渗入工艺参数、被渗基体材料、欲渗源极材料、设备 对满足热力学平衡或局部热力学平衡的等离子 技术等问题，进行较为广泛和深入的研究，而对辉光 体，假设在测量空间是光薄的，则沿某一观测方向测 放电参数和放电机理等微观参量方面的研究较少。 得的某一谱线面发光度(谱线强度)，脯可写为： 电子温度是等离子体辉光放电的重要参数之一，它 1 ，栅 = huN．A D (1) 反映了辉光放电中电子分布状况和能量，它的大小 和变化对辉光放 电的性质有着直接的影响。因此了 式中，il,和In,分别为所测谱线上能级和下能级的主 解电子温度 的大小、变化和分布，对辉光放电的控制 量子数；Ⅳ^是il,能级布局密度 ；A 是光电子由il,能 具有十分重要的意义 】。本文在双层辉光等电位放 级向In,能级跃迁的自发跃迁几率；D是沿观测方向 电时，对各种工艺参数条件下氮气发射光谱的相对 等离子体厚度；h是普朗克常数；v是所测光谱频 强度变化用 sII．Ⅳ型全息凹面光栅单色仪进行了发 率。 光光谱 的测绘，并通过计算得到各种工艺条件下 在低真空充气条件下，等离子体一般是低温稠 N2的电子温度。 密的，因而满足局部热力学平衡条件 ，这时 Ⅳ^与基 态原子密度之间的关系由玻尔兹曼方程所支配。假 收稿 日期 ：2005—04—07；修订 日期 ：2005—06—15 基金项