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氧化钒材料在红外探测器中的应用 2012年10月  摘 要 由于红外辐射是人眼不可见的，要察觉其存在，测量其强弱，就必须首先利用红外探测器将其转换为某种便于测量的信号。红外探测器是红外探测或成像系统中的核心器件，也是红外技术发展最活跃的领域。红外技术的发展水平，通常是以红外探测器的发展水平为主要标志的。氧化钒作为一种被普遍看好的探测器材料成为各国研究的热点。Abstract Infrared radiation is not visible to people’s eyes, so we must use the infrared detector to convert it to a convenient measurement signal when detecting its existence or measuring its strength. Infrared detector is the core device of infrared detection or imaging system, and it is also the most active field of the development of infrared technology. The level of development of infrared technology, usually represented by the level of infrared detector’s development. Vanadium oxide has been a research focus of all countries as a very good detector’s material. This paper mainly introduces the structure of VO2 and V2O5, phase transition principle of VO2 and its transformation characteristics from the perspectives of crystallography and band changes when phase changed, then we analysis the factors which influence phase change. Finally, the paper introduces the appliance of vanadium oxide in infrared detection, mainly focusing on the research of thin film of vanadium oxide as well as the micro bolometer IR detector.. Key words: Vanadium oxide，Principle of phase transformation，Infrared detector 目 录 摘 要 1 Abstract 2 目 录 3 绪 论 4 1氧化钒的结构 5 1.1 二氧化钒 5 1.2 五氧化二钒 7 2相变原理 7 2.1 氧化钒相变原理 7 2.2 VO2的相变特征 8 2.3 影响相变的因素 9 3氧化钒材料在红外探测中的应用 12 3.1 红外探测器综述 12 3.2 氧化钒热敏薄膜研究 15 3.3 微测辐射热计红外探测器 20 总结 27 参考文献 28 绪 论 V-O系是一个有多种化学计量配比化合物的系统,由于V的价态结构非常复杂，可以和氧结合形成以状态存在的多种氧化物以及它们的混合相。氧化钒种类很多, 主要有 , , , 等, 且常常共存，不同组分的氧化钒薄膜其电学性质有明显的不同。例如：单晶和多晶态的五氧化二钒具有较高的TCR（电阻温度系数）, 但其电阻率大,与微测辐射热计的外围电路不易匹配；而和 薄膜在室温下导体, 电阻率和TCR 都非常小. 相比之下，薄膜在室温附近具有TCR 高, 电阻率小等特性,是制备测辐射热计的最佳热敏材料。目前关于氧化钒薄膜在微测辐射热计上的应用研主要集中在如何获得较高组分的薄膜上。 1氧化钒的结构 V-O系是一个有多种化学计量配比化合物的系统,由于V的价态结构非常复杂，可以和氧结合形成以状态存在的多种氧化物以及它们的混合相。氧化钒种类很多, 主要有 , , , 等, 且常常共存，不同组分的氧化钒薄膜其电学性质有明显的不同。例如：单晶和多晶态的五氧化二钒具有较高的TCR（电阻温度系数）, 但其电阻率大,与微测辐射热计的外围电路不易匹配；而和 薄膜在室温下导体, 电阻率和TCR 都非