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微测辐射热计的热学分析.pdf

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微测辐射热计的热学分析

,半导体光电- 年 月第 卷 增刊 王享田 等# 微测辐射热计 的热学分析 !; - !: [’ ! ################################################## 微测辐射热计U%2 的热学分析 王享田!宋建伟!吴志明!蒋亚东 电子科技大学 光电信息学院#四川 成都 $ +!P$ 摘 要! 微测辐射热计 [’ 的热设计是非致冷红外探测器设计的难点和关键!针对 \? ! ! 推出的!; ./!; . \[’ 对其热性能作了分析分析了桥面尺寸的减小对探测元被红外辐照 ! ! 后的温度变化率的影响以及单个探测元在受红外辐照和偏置脉冲时的温度变化并使用有限元分 析软件 模拟了单个热绝缘结构在稳态工作时的温度场分布! 9)L)1 关键词! 微测辐射热计!有限元!热设计!温度场 ! 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # 89!% %%$;1:1!;)$-Z$- ! ! N7-3/4.204.B(B8L(638:8.8/--3U%2 5 $ $ $ 79@ =*IA E(*IA )?9@ ^*IAEWG* 7d CJ*E.*A ^9@ LIESMA B B B $ ’6788.8@ 8-.-6380(6;083/4(80 M0(Q-3B( 8 A 5 $ $ # K.-6380(6’6(-06-40=N-6708.8 8)7(04)7-0=D+!P$)EF 5 % 2:B346 8JG(JGQ.IFSGV*AMR(JG.*4QMPMFM.G(GQ[’ *VIS*RR*4DF( IASNG QMPFG. ! B O OT WJGAIADA4MMFGS*ARQIQGS.*4QMPMFM.G(GQSG(G4(MQ*VSGV*AGS[M4DV*A MA(JG!; ./!; . B B ! ! \[’ SGV*AGS P \?$ B O *(V(JGQ.IF GQRMQ.IA4GIAS (JGGRRG4(4M.*A RQM. (JGS*.GAV*MA T

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