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面向微小零件加工微细切削技术摘要：微细切削技术是高速度低成本的的对微小零件进行机械加工的方式，它是未来制造技术的发展趋势，是2l世纪重点发展的关键技术之一。微细切削技术的主要加工对象是金属与合金等非硅材料微小型结构件，是精密加工的关键技术。本文结合微小零件的特点，分析了微细切削的技术体系。 关键词：微小零件； 微细切削； 技术 Abstract: the subtle cutting technology is high speed of low cost to tiny mechanical parts of the process, it is the future the development trend of manufacturing technology, is 2 l century focus on the development of the key technical one. Subtle cutting technology is the main processing objects such as metals and alloys of silicon micro small parts, is the key technology of precision processing. Based on the characteristics of small parts, and analyzes the technological system of fine cutting. Keywords: small parts; Subtle cutting; technology 中图分类号：TU74文献标识码：A 文章编号： 随着材料学、微电子学、机械学和信息学等学科的发展，微细切削技术也迅速发展，成为具有多学科交叉的前沿研究领域。微细切削技术是一种快速低成本的微小零件机械加工方式，不受加工材料的限制，在三维几何形状和多样化材料的微细加工中有独特优势，是一项微米和中间尺度机械制造领域的新兴技术，能实现微小模具的批量化生产。微细铣削、微细车削、微细磨削和微冲压等。构成了目前的微细切削技术。 一、微小零件的特点和加工范围 微小零件是指微小尺度范围内的光、电、机、磁、液等要素高度集成的一类零件。微小零件在结构形式、构件材料和加工工艺等方面有以下特点：1、微小型零件的构成材料主要是金属、合金或者复合材料等非硅材料，机械特性好，强度硬度高，具有耐磨损、抗过载、耐高温或耐腐蚀能力，能够恶劣工况条件下也能正常工作。2、现在广泛存在于各种微小型系统，包括框架、壁、腔体、轴、槽、轮、孔系等多种结构形式，市场需求量大，现在最大的问题是在满足加工精度要求的前提下如何解决批量生产的问题。3、指整体尺度在毫米级，很难利用常规方法加工的小型零件。4、以准三维或三维的立体结构为主的结构形式，深宽比高或长径比大。5、结构复杂，空间紧凑，各个部件之间存在确定的连接、传动或装配关系，对形状和位置的精度要求非常高。对于零件表面的精密度要求较低，不一定要纳入纳米级别。 二、微细切削的机理 微细切削其实和常规切削一样的，都通过刀具去除工件表面材料。但由于微细切削的工件、刀具尺寸非常小，所以微细切削会出现许多与常规切削不同的现象。提高加工质量的有效途径之一是通过对微细切削机理的研究进而推动微细切削实用化进程。在切削加工中，工件材料与刀具的接触区域不可避免的会出现局部变形，所以必须控制刀具的切削厚度，使厚度控制在工件材料的最小切削厚度之内，保证加工质量。刀具在微细切削加工时去除材料逐渐减少，刀刃刃口的半径逐渐接近最小切削厚度，与传统切削的模型不同，切削沿着刃口半径轮廓会产生剪切变形。因此微观组织和切屑的形状变化与传统大尺寸的切削切屑存在差别。微细切削中，刀具磨损是关键问题，所以硬质合金材料被广泛应用于微细铣刀中。 三、面向微小零件的微细切削技术 （一）微细切削是高集成的综合性技术，对于微小零件很很强的适应能力。微细切削技术有自己特有的优势。 1、适合多种材料的加工。微细切削的去除机理是通过刀具在切削层施加机械力产生切削变形，以切屑的形式从工件表面脱离。所以从理论上说，如果刀具材料有足够的的强度和硬度，刀具与工件之间不发生热化学反应，合金、金属、陶瓷、塑料、石墨、复合材料、玻璃和硅等任何材料都可进行微细切削，所以加工材料范围广泛。微细切削加工材料的广泛性对具有高承载或高耐磨要求的微小零件加工比较有利。 2、可进行三维立体加工。传统的切削工艺在微观加工尺度的延伸就成了微细切削。微细加工不仅能加工平面图案或轮廓，还可以通过采用微细立铣刀或钻头，合理规划刀具路径和加工