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氧化物磁性薄膜的研究现状及进展 research development of oxide magnetic thin films
综述 动态 评论
氧化物磁性薄膜的研究现状及进展
1 1 2
兰中文 孙 科 陈盛明
1. 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 四川成都 610054
2. 江苏省磁性材料与器件工程技术研究中心 江苏无锡 214199
摘 要 综述了氧化物磁性薄膜的研究现状及进展 重点介绍了国际上在尖晶石 磁铅石以及石榴石铁氧
体薄膜制备方面取得的最新研究成果 并指出今后的发展方向
关键词 铁氧体薄膜 尖晶石 磁铅石 石榴石 发展方向
中图分类号 +
O484.4 3 文献标识码 A 文章编号 1001-3830(2007)01-0013-06
Research Development of Oxide Magnetic Thin Films
1 1 2
LAN Zhong-wen , SUN Ke , CHEN Sheng-ming
1. State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of
Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China;
2. Jiangsu Research Center of Magnetic Materials and Devices Engineering Technology, Wuxi 214199, China
Abstract: A review on up-to-date progress in oxide magnetic thin films was introduced. The main contents
covered research advances of preparation technology of ferrites thin films with spinel, magnetoplumbite, and garnet
structure. Furthermore, the orientation of technological development of ferrite thin films was pointed out.
Key words: ferrite films; spinel; magnetoplumbite; garnet; developing orientation
膜变压器 薄膜电感器 薄膜噪声抑制器 平面薄
1 引言
膜电阻 电容等
电子系统向集成化 平面化 智能化和小型轻 磁性薄膜材料分为金属磁性薄膜和氧化物磁
量化方向发展的技术趋势 对器件的使用频率提出 性薄膜两大类 金属类的Fe Co 及Fe-Ni 系等的
了更高的要求 而制约器件高频化的因素很多 诸 研究已较为成熟 氧化物类主要分为尖晶石 磁铅
如电路设计 晶体管的应用频率以及磁性器件的平 石及石榴石铁氧体三大类 虽然氧化物磁性薄膜的
面化 高频化等 目前 随着半导体集成技术的日 研究已取得较大的突破 但仍处于起步阶段 本文
益成熟 电路设计 晶体管的应用频率等问题已经 主要就三大类氧化物磁性薄膜中典型铁氧体薄膜
得到了较好的解决 但磁性器件的平面化
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