磁控溅射ZrN薄膜厚度对其色度的影响-表面技术.PDFVIP

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2017-08-18 发布于天津
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磁控溅射ZrN薄膜厚度对其色度的影响-表面技术

第卷第期年月表面技术暋 41 暋暋 2 暋暋2012 4 暋暋暋Vol.41暋No.2暋Ar.2012 SURFACETECHNOLOGY p 暋暋暋47 磁控溅射ZrN薄膜厚度对其色度的影响 , , , 12 1 1 12 12 , , , , 孙维连安广孙铂王会强李新领 ( , ; , ) 1.河北农业大学机电工程学院保定 071001 2.河北省轻金属合金材料工程技术研究中心保定 071001 [ ] , 摘要采用中频非平衡磁控溅射技术在镜面不锈钢板上制备了薄膜通过改变镀膜时间控制暋暋暋暋 ZrN ZrN * * * * * * 。 , , , 薄膜的厚度用色差仪测定了不同厚度薄膜的和值绘制出不同厚度薄膜的和 ZrN L a b ZrN L a b * , : , , 值的变化曲线图得出膜层厚度对薄膜色度的影响规律膜层厚度低于63.7nm时随着膜层厚度的增加 L 和 * * , , ; , , 值无变化值呈线性递增且颜色逐渐趋于金黄色膜层厚度高于时随着膜层厚度的增加薄膜颜 a b 63.7nm , 。色坐标未有明显变化颜色为稳定的金黄色 [ ] ; ; ; 关键词沉积速率膜层厚度薄膜色度暋 ZrN [中图分类号] [文献标识码] [文章编号] ( ) TG174.444暋暋暋 A 暋暋暋 1001灢3660201202灢0047灢03 EffectofFilmThicknessontheColorofManetronSutterin ZrNFilms g p g