利用SILVACO TCAD软件改进集成电路实践教学探究.docVIP

利用SILVACO TCAD软件改进集成电路实践教学探究摘要：日益成熟的集成电路工艺与器件计算机辅助设计工具有助于缩短半导体工艺和器件的开发周期、降低开发成本,因而越来越被广泛应用。通过模拟软件Silvaco TCAD对工艺进行仿真，了解实际集成电路生产涉及的氧化、扩散、淀积、光刻、刻蚀、平坦化等一系列工艺过程；对器件的仿真，熟悉专业基础课程内容如器件的基本结构、材料的性能、载流子的浓度和工作电压等对器件各种性能的影响。并可以加深学生对课程理论的理解,同时提高学习兴趣,从而获得良好教学效果。 摘要：Silvaco TCAD 工艺仿真 器件仿真 中图分类号：TN405-4 文献标识码：A 文章编号：1007-9416(2012)07-0114-03 To improve IC practice teaching with Silvaco TCAD software ZHU Yun (School of Electronic Engineering，Xian University of Post Telecommunication，Xian 710121，China) Abstract:The simulation tools for technology computer aided design could be useful for time saving and cost consumption and has been more and more widely used.Based on Silvaco TCAD tools,process simulation could understand the practical integrated circuit production involved the oxidation,diffusion,deposition,photolithography,etching,CMP and a series of technological process.Devices simulation could be familiar with the professional foundation course content such as device structure,material properties,carrier concentration and voltage on the device performance influence.And can deepen students? understanding of curriculum theory,while increasing interst in studying, so as to obtain good teaching effect. Key words: Silvaco TCAD process simulation device simulation 普通本科院校要想培养出具有创新意识的应用型人才，必须把创新人才培养的思想贯穿于本科生培养的全过程，并融入到教学计划中去，把对创新精神、实践能力的培养和创新实践的要求落实到课堂教学、实践环节、课外活动及德育工作等各个环节里[1-3]。 随着IT、IC产业的迅猛发展，对集成电路实践教学提出了新的、更高的要求，为适应现代教育的需要，原有的教学理念、教学方法、教学内容等都需要进行改革和创新。在以培养应用型、创新型人才为目标的教学体系中，课程体系和教学内容的更新和优化，尤其是改革实验教学成功与否，直接关系到培养人才质量[4-5]。利用Silvaco TCAD软件，改进集成电路实践教学，巩固学生的理论知识并培养学生的实践能力，加强学生分析问题、解决问题能力，为启发学生的创新意识和培养创新能力起到了重要作用[6]。 具体实施方案为：将传统的工艺实践和Silvaco TCAD实验相结合，建立集成电路制造工艺实验体系，强化学生基本知识的运用；将集成电路实践与软件实验融为一体，以工程实践和能力培养为主线，做到工艺技能训练和工程素质能力培养相结合。 1、Silvaco TACD软件介绍 Silvaco于1984年创办于美国硅谷，中文名称叫矽谷科技公司。经过20多年来的成长与发展, 现已成为处于世界技术领先地位的EDA公司,在TCAD工艺和器件模拟、Spice参数提取、高精度/高速度电路级Spice仿真、全定制IC设计与验证等领域具有很高的建树。 应用TCAD能缩短IC工艺和器件的开发周期，节省试制成本，并能获取实验无法得到的信息以及深化IC工艺和器件的物理研究。 Silvaco TCAD组件包括交互式工具Dec