第九章2009真空测量技术.pptVIP

真空计量器具的检定系统： 第八章真空计校准 真空计量器具的检定系统： 第八章真空计校准 真空计量器具的检定系统： 第八章真空计校准 真空计量器具的检定系统： 第八章真空计校准 静态膨胀法绝对校准系统： 静态膨胀法压力校准系统是克努曾于1910年提出的。这种校准系统适合于中、低真空计的校准，其校准精度较高，应用广泛。 但进入高真空（p＜10-2Pa）后，由于器壁的吸气与放气十分显著，需要设法减小其影响。 这种校准系统的特点是制作简单，操作方便，运算迅速简单，检定效率高，并且可以排除水银蒸汽对人的危害。 膨胀法校准的工作原理是基于波义耳定律，即在恒定的温度下一定质量的气体压力与其体积的乘积为一常数。 第八章真空计校准 静态膨胀法绝对校准系统 原理： 气源室1中充压力为p1校准气体，由标准真空计G2量出 。 校准室2抽气至低于校准压力下限2～3个数量级，略去校准室的本底压力对校准的影响。 每操作一次传递阀K4，气源室中的压力为p1、容积为传递容积Vs的气体输送到校准室 第一次膨胀后校准室压力： 第n次膨胀后校准室压力： 第八章真空计校准 静态膨胀法绝对校准系统： 注意事项： 略去了校准室本底压力； 气源室多次采样压力降； 系统表面的吸放气； 温度变化。 应尽量满足条件。 例子：Vs/V=10-4,校准压力范围10-1-10Pa. 第八章真空计校准 静态膨胀法绝对校准系统： 注意事项： 膨胀法适用气体：氮气、惰性气体等，要考虑气体的干燥性、吸附性、活性和泄漏等。 污染：如扩散泵反油的污染和反应等。 影响测量不确定度的因素主要有参数误差和装置系统误差。 第八章真空计校准 动态流导法绝对校准系统： 动态流导法有时也称为动态流量法或小孔法校准，它是建立在气流连续性原理、分子流状态和等温条件基础上的。由于是动态校准，吸气和放气的影响很小。在分子流状态下，流导是结构几何尺寸的函数，与压力无关。其校准下限随真空获得和小流量测量水平而延伸。是目前超高真空和极高真空的切实可行的校准方法。 第八章真空计校准 动态流导法绝对校准系统： 原理： 根据气体分子运动论理论，利用薄壁小孔作标准流导产生已知低压力的。首先将校准室压力抽至校准压力下限以下2～3个数量级，这样计算校准压力时可忽略本底的影响；校准气体以稳定流量通过针阀K，由进气管注入校准室。气体以分子流状态流经一薄壁小孔并被真空系统抽除。在达到平衡状态时，在小孔上方的校准室建立起已知的低压力P,用来校准真空计G。校准室的压力可由下室计算 第八章真空计校准 动态流导法绝对校准系统： 原理： 由于系统的有效抽速比小孔流导大得多，故使得小孔下游的压力远小于校准室压力。这样小孔下游压力测量值误差对校准压力的影响很小。因此，只要根据校准气体流量qG、小孔流导C和小孔下游压力pb，就可以计算出校准室压力来。校准气体的流量由流量计测量。 流量范围为: 其测量精度可达0.5％，压力校准范围是: 第八章真空计校准 动态流导法绝对校准系统： 二级动态流量校准法： 第八章真空计校准 动态流导法绝对校准系统： 注意事项： 气体流量的准确测量； 薄壁小孔的流动特性及流导的精确计算； 气体分子的非麦克斯韦分布使规管和校准室内压力和气体成分变化，应保证引入气体先与器壁碰撞一次，球形室较圆柱状好。 抽气系统抽速远大于小孔流导，排气口附件压力梯度大，规管不应安放于小孔附近。 电离规的电清除和化学清除直接导致规管内的压力和气氛变化：裸规或规管流导和小孔流导远大于规管抽速，这种影响可以忽略。 吸放气的影响不如膨胀法严重，但有定向气流导致气体不均与分布，应反复除气并在稳定状态下测量。 第八章真空计校准 动态流导法绝对校准系统： 注意事项： 一般说来，校准室容积愈大，气体分布越均匀，但要考虑极限压力的获得和易于除气，一般校准室容积应为规管容积的20倍以上，并应使容积内表面积/容积尽可能小，球形结构较圆柱形好。 第八章真空计校准 绝对真空计校准法： 绝对真空计校准法是以绝对真空计为标准，将被校准的真空计与绝对真空计进行直接比较的方法。 标准规与被校规对称布置，可同时校准几台电离真空计。在规管之间加屏蔽网，以防止各规管之间的相互干扰。冷阱、被校准的规管以及球泡和毛细管部分，均应在校准前加温烘烤除气。 动态校准时可克服了被校规管及容器吸放气引起的压力变化。 第八章真空计校准 绝对真空计校准法： 绝对真空计校准法是以绝对真空计为标准，将被校准的真空