第十三章2009氦质谱检漏仪.pptVIP

氦质谱检漏仪的使用： 检漏灵敏度 检漏仪接在前级真空侧 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 检漏时间及其测定： 反应时间τr和清除时间τc是氦质谱检漏仪在检漏中的两个重要参数，其值主要由检漏仪的反应时间、清除时间及辅助真空系统参数决定。 氦质谱检漏仪本身的反应时间和清除时间：实验测定，测出输出指示上升到最大值的0.63倍所用的时间，该时间就为检漏仪的反应时间。当仪器输出指示为某一数值时，停止施加氦气并同时记录，测出输出指示下降到该数值的0.37倍所用的时间，即为检漏仪的清除时间。 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 检漏仪接在高真空侧的检漏时间： 利用被检件漏孔测定检漏时间，并以3τr和3τc作为探索时间和清除时间。 理论计算 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 检漏仪接在前级真空侧的检漏时间： 利用被检件漏孔测定检漏时间，并以3τr和3τc作为探索时间和清除时间。 理论计算： 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 关于检漏灵敏度和检漏时间的总结： 当检漏仪接在高真空侧时，前级泵参数对检漏灵敏度﹑反应时间和清除时间均无影响，次级泵参数却是主要影响参数 当检漏仪接在前级真空侧时，τ＞＞τb时，前级泵参数对反应时间和清除时间基本上无影响，却是影响检漏灵敏度的主要参数 由于S一般较大，所以说次级泵缩短了检漏时间。 在稳定状态下，次级泵不影响前级真空侧的检漏灵敏度，但在过渡过程中却有影响。 大容器检漏时要计及氦气在被检件内的扩散 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 辅助真空系统： 作用：预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行气体分流、缩短反应时间和清除时间、影响检测灵敏度。 组成：由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等元件组成。 对于体积小、出气和漏气都小的被检件，可直接与检漏仪连接进行检漏；如果被检件批量大，为了节省检漏操作时间，提高检漏效率，也可设置辅助真空系统；对于容积较大、出气或漏气较大的被检件，必须设置辅助真空系统。对较脏的被检件的预抽可以防止检漏仪 受到污染，这种保护检漏仪的功能 也是十分必要的。 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 辅助真空系统： 安装位置：检漏仪可接在辅助真空系统高真空一侧，也可接在前级真空侧。确定其连接位置应该遵守的原则是：进入检漏仪的氦分压高、反应时间和清除时间短、被检件对检漏仪污染小及检漏灵敏度高。例如，对清洁且无大漏孔的较大被检件检漏时，检漏仪应接在前级真空侧，具有检漏灵敏度高和检漏时间短等特点；反之，对有污染和大漏孔的被检件进行检漏时，检漏仪应接在高真空一侧。但是无论哪种连接方式，在连接检漏仪的部位，都存在着氦在辅助真空系统中的分流问题。因此，在分流支路上设置阀门，使其流 导可调，以便增强检漏 器支路的气流， 提高检漏灵敏度，并且使检漏工作灵 活方便都是必要的。 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 检漏方法： 喷吹法： 检漏灵敏度：如果示漏气体为非纯氦则 检漏时间： 喷枪移动速度： 漏孔漏率：标准漏孔法 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 检漏方法： 喷吹法：注意事项 1）氦气轻，喷吹检漏时，应从被检件上方开始检漏，逐渐向被检件下方移动喷枪；由靠近检漏仪处检漏逐渐移至远处；先用大气流粗检找出漏孔所在区域后，再用小气流精检以找出漏孔的确切位置。 2）当存在两个相距很近的可疑漏孔时，注意喷枪喷出氦气流方向（或盖住一个漏孔点）进行检漏。 3）检出的漏孔应复查。 4）检漏场地要有良好的通风条件，但不得影响喷枪喷出的氦气的流动的方向。 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 检漏方法： 氦罩法 利用检漏罩将被检件的整体或局部罩起来，检漏时先将罩内空气抽除，然后充入示漏气体，以检漏仪输出信号表征漏孔存在和被罩部位的总漏率。 检漏罩可用塑料薄膜制成。对于大批量小型被检件，也可制成专用的刚性较好的检漏罩，使充入氦气压力高于大气压力，以便提高检漏灵敏度。 氦罩法的结果是被罩部位的总漏率。若确定漏孔的准确位置，可再用喷吹法 如果检漏罩容积较大，应当回收罩内氦气，否则必须解决好检漏场地的通风问题， 以便降低空气中的氦的分压。 第十三章氦质谱检漏仪 氦质谱检漏仪的使用： 检漏方法： 检漏盒法：大多用于焊接件的焊缝检漏，特别是焊接件还没构成一个整体容器可用检漏盒法。将检漏盒罩在可疑部位上，用辅助泵抽气并使该盒与被检件表面密合。调整检漏仪，使其处于工作状态。在检漏盒所罩部位背面施加氦气检漏，其检漏灵敏度可用标准漏孔比较法求之。设计检漏盒时应满足的要求是：盒内至少能抽空至几十帕；盒与被检件密封可靠、扣罩方便；盒的形状与尺寸要尽可能适应于多种形式的焊缝。检漏盒的