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2017-08-22 发布于上海
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cao-b2o3-sio2系ltcc基板材料的制备及烧结 preparation and sintering of cao-b2o3-sio2 system for ltcc substrate materials.pdf

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cao-b2o3-sio2系ltcc基板材料的制备及烧结 preparation and sintering of cao-b2o3-sio2 system for ltcc substrate materials

第30卷第7期电子元件与材料 Vbl．30No．7 ELECTRoNIC 2011年7月 CoMPoNENTSANDNIATERIALS Jul．201l 龙承毅，张树人，周晓华，李波 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054) ￡r_5．99(1 MHz)，抗弯强度盯=165MPa，具有良好的综合性能，可用作LTCC基板材料。 MHz)，tan63．93x1旷(1 关键词：CaO—B203-Si02；LTCC；玻璃陶瓷中图分类号：TQl71 文献标识码：A 文章编号：1001．2028(2011)07—0029—03 and of for CaO--B203--Si02system Preparationsintering LTCC materials substrate LONG Bo Chengyi，ZHANGShuren，ZHOUXiaohua，LI ThinFilms ofElectronicScienceand of ofElectronic and (StateKeyLaboratory Devices，University Technology Integrated China，Chengdu610054，China) themixtrueof LTCCmaterialwas CaO-B203一Si02 Abstract：CaO·B203-Si02(cBs)systemsynthesizedbyusing methodand (CBS)glasspowder(Apowder)preparedthroughhightemperaturemelting CaO—B203一Si02-A1203powder(B methodwiththemassratioof7：3．Theeffectsof onthe powder)preparedthroughsolid·phase sinteringtemperature LTCCmaterialswere showthatCBS LTCCmaterialssinteredat850℃ ofprepared investigated．Resultssystem properties show denstified at directionis15．16％，bulk g／cm’，Er=5．99(1MHz)，tanJ good properties：shrinkagex-y densityp=2．642 assubstratematerials． 3．93xlO_4f1