cif格式转换为pg3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究 partitioning algorithm for the pattern conversion of cif into pg3600.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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cif格式转换为pg3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究 partitioning algorithm for the pattern conversion of cif into pg3600.pdf

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cif格式转换为pg3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究 partitioning algorithm for the pattern conversion of cif into pg3600

第31卷第2期电子器件 V01．31No．2 OfElectronDe,viols 2008年4月 Oahle∞Journal apt．2008 forthePatternConversionofCIFintoPG3600’ PartitioningAlgorithm LJ，i矿Ⅲ。，CHENBao-|(Iin，LIUMing，ZHAOMin Nano-FabricationarmNovelDevices ，KeyLaboratoryof IntegratedTechnology，、～I，lst缸t‘IeofMicroelectronics，ChineseAcademyofience，Beijing100029，China／ anovel for the ofCIFformat Abstract：This algorithm paperpresents dividingmicrolithographypatterns into ofPG3600formatwith onthedivisionof into rectangles emphasis arbitrarypolygon withother its forir— resultofthis division shows comparison algorithm pattern algorithmsgreatsuperiority divisionovertheother or ， regularpolygons algorithmstechniques． format theSides Keywords：CIFFormat；PG3600Format；patterndivision；dataconversion；divisionalong EB姬C：7510B，切割成矩形的算法研究* 李金儒’，陈宝钦，刘明，赵珉 (中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室，北京100029) 摘格式转换为P133600数据格式的新的图形切割算法一沿边切割法，重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法，并与其它几种常见的切割算法进行比较，说明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性，最后给出所编软件运行的实验结果．关键词：中图分类号：TP30l 文献标识码：A electrorrbeam amajor of is tOmeetallthe Although lithographyplays cessingopticalgeneratorrequired roleinthe ofthe masks， ofmicroelectronicfabrication．Asdiffer- manufacturingprecisephoto requirements the mask