ft为77ghz的蓝宝石衬底0.25μm栅长algangan高电子迁移率功率器件 0.25μm gate-length algangan power hemts on sapphire with ft of 77ghz.pdfVIP

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ft为77ghz的蓝宝石衬底0.25μm栅长algangan高电子迁移率功率器件 0.25μm gate-length algangan power hemts on sapphire with ft of 77ghz

第27卷第6期 半 导 体 学 报 v01.27No.6 CHINESEJOuRNAL0F 2006年6月 SEMICoNDuCTORS June,2006 PowerHEMTs AlGaN/GaN 0.25IJLmGate-Length on 77GHz Sapphirewith^of WuDexin ZhengYingkui+,LiuGuoguo,HeZhijing,LiuXinyu,and 100029,cm,l口) (,肿ffm抛D,MfcrDekcfrDnfcs,c砌le跎Ac口demyo,&fe,lces,&玎i愕 electron fab— Abstr牡t:MoCVD-grownAlGaN/GaN O.25pmgate-length h培h mobility ricatedon substrates.Aextrinsictransconductanceof anda currentcutoff sapphire peak 250mS/mmunity gain 77GHzareobtainedfora deVice.Thesedevicesexhibit frequency(厂T)of o.25_umgate-lengthsinglefinger power amaximumdraincurrent as as acontinuous-wave densityhigh1.07A/mm.on-chip testingyielded outputpower of27r.04dBm8GHzan at withassociated of26.5%foran device. power—addedefficiency 80×10弘m eIectron transistor Keywords:GaN;sapphiresubstrate;high mobi“ty EEACC:2560S CLC D0cument Article number:TN386 code:A ID:0253.4177(2006)06.0963.03 61. cOnductionDroblemL In 1 Introduc_itiOn this themicrowaVe

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