线痕TTV.docVIP

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线痕TTV

线痕和TTV: 线痕和TTV是在硅片加工当中遇到的比较头疼的事,时不时就会出现一刀,防不胜防。TTV是在入刀的时候出现,而线痕是在收线弓的时候容易出现。钢线和砂浆组合就变成线锯。在高速运转的状态下,砂浆黏附在钢线上,起到锯齿的作用,快速切入。当砂浆的黏附力过差,就不易被带入切割面内部,从而出现无齿,降低切割能力。TTV产生一般是一个点,比其他地方厚度差的多。可能性最大的是线网与单晶成一个角度,也就是单晶没有粘平,最容易出现TTV,还有就是导轮的跳动大,导致线网跳动大,入刀不稳导致。线痕则是因为在切入玻璃的时候,正在拉线弓。这个时候钢线在两种介质中切割,由于硬度和结构的不同(以金刚石硬度10为准,玻璃硬度为6,单晶硅硬度略逊于金刚石),导轮跳动过大,哪怕一瞬间,产生侧移,就会导致线痕。玻璃因为是非晶体,在600度左右就会变软。钢线切割到玻璃的时候在玻璃表面会产生大量的热,软化,黏附钢线,砂浆就不易被带入,降低了切割能力,这时就容易产生线痕。6 y- y8 {8 T [% s/ y3 C ? ? 注解:?TTV:硅片厚度变化量。一般来讲,硅片厚度对硅片本身的品质没有什么影响。硅片中真正起作用的只是硅片表面薄薄的一层,其余的都是起支撑作用。TTV当然越小越好。TTV是衡量硅片品质的一个很重要的指标? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ? ?? ?? ?? ?? ?? ???线切割机线痕处理 1.原料--硅块本身就存在缺陷 如杂质等,造成硅块密度不一致或者说分布不均匀,容易造成线痕; 辅料--辅料质量不佳,如材质不对、杂质等,另外也有可能是辅料重复使用次数过多; 设备--设备机台各项参数不应该版本统一,应该因机而各异; 4.人为--可能性最大因数,有意无意或者消极工作导致. 但是目前线痕是多数公司存在的普遍现象 主要看线痕比率体现线切水平和成片率 . 可以从多方面考虑降低线痕: 一.原料 从开方后检测下手,控制可能导致线痕的硅块流入线切工序 二.辅料 控制辅料质量和使用次数, 避免辅料造成的损失,得不偿失; 三.设备 完善的保养机制 独有的工艺配方 四.人员 从积极方面考虑降低线痕率 如奖励机制替代处罚机制 主要是人员工作积极性 毕竟人在生产中起主导作用 五.完善的制程控制 完善的制程检验过程, 及时发现并纠正不当操作 六.完准的数据和反舞弊制度 如各大数据程序支持和反舞弊制度 说到底关键在人 工艺 设备 操作 数据 等等 都需要靠人完成 密布线痕: 密布线痕是砂浆的问题,砂浆的切割能力低,要解决这个问题可以将切割速度调整慢一点,还要在浆料问题上做的更加细致。搅拌时间延长一些。完全可以将这个问题解决好+ }) 断线处理方法 断线分为收线端断线,线网断线和进线端断线三种。其中线网断线最具挑战性.一. 收线端断线处理很简单,把主辊上的压线抽掉,用胶带把线头粘贴好,接下来把收线轮上的线引到主辊的收线端,用拧麻花的方式把两个线头拧在一起,然后用烙铁把线头焊好,检查导轮,完好后直接按启动按钮。在过程中应注意下列几点:1.整个过程中不要停止砂浆的循环;2.不要走线网,防止出现线痕,3.抽完主辊上的压线后要注意调整收线端导轮架的位置,4.换掉收线端的前三个导轮,因为断线后钢线变形,把导轮槽拉伤,当然换几个导轮以自己而定,本人经常只换前三个。??  二.进线端断线处理其实也很简单,处理方法有两种:1.抽线,抽好后用激光焊接机直接焊好,开切。2.反切,叫技术员改程序,自己改也行,只要你会,此时收放线轮互换,收线轮做放线轮,放线轮做收线轮。接好线后,开切.整个过程中应注意一下几点:第一,焊线的人的技术要好,不然在跑线过程中线头很容易开,那样造成的后果的不可估计的。再就是把进线端的导轮架调整好。第二,反切时一定要保证你的收线轮上的线是没有断过的,并且线够切,放线轮上的线的多少。如果还够切一刀,换掉线轮,以免造成浪费。第三,换掉进线端的前三个导轮。  三。线网断线是最难处理的,也是对片子质量影响最为严重的。1.当切割深度<40MM时,我们可以剪掉破线网,重新布线,直接任线,整个过程可以在50分钟内完成。2.当切割深度>40MM时,以10MM/min的速度提料,然后用水洗,一定要洗干净,以免在任线的时候造成不必要的麻烦,洗干净后,然后用气管吹干,片子看上去一片一片的就OK了,重新布线网任线。第二种方法就是:把线网剪掉后,用塑料纸铺在碎料盒上,给里面到上酒精,把片子泡在里面,大约60分钟后,把料提起来,此时的片子在酒精里面已经完全分开,酒精完全挥发后,就可以任线了,这样免去了用气管吹干的过程,这个方法对片子的质量影响很小,建议用这个。在用水洗的时候不要将水开的太大,气开的太大,以免损伤片子!第二种方法中的酒精也可以换成切割液。好有

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