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谐振式微加速度计综述 学号 姓名：柯小路 摘要：微谐振式加速度计是一种新型的加速度计，由于其独特的优点，己成为微传感器的重要发展方向之一。本文首先对各种加速度计的优缺点进行了简要比较，然后着重介绍了硅微谐振式加速度计的工作原理、加工工艺、技术指标和几个典型的结构设计实例。 关键词：加速度计、谐振原理、DETF、微杠杆 Summary of Resonant Micro-Accelerometer Abstract： Micro-resonant accelerometer is a new kind of accelerometer, and has become an important direction of micro-sensor, due to its unique advantages.?In this issue, firstly I make a brief comparison of the advantages and disadvantages of various accelerometers. Then I focus on introducing the processing technology, technical indicators and several typical examples of the silicon micro-resonant accelerometer. Key words: Accelerometer、Resonance、DETF、Micro leverCalifornia大学Berkeley分校研究者于1997年采用表面微机械加工工艺，在速度计中使用微杠杆力放大装置制成了双端固定音叉谐振式加速度计，谐振器的零入谐振频率为68kHz，标度因数为45Hz/g。Berkeley分校研究者于2005年发表了基两级微杠杆机构的谐振式微加速度计，如图2所示。 当有加速度作用于质量块时，产生的作用力经二级放大杠杆结构传递到DETF上通过检测DETF谐振频率的改变量来测得加速度的大小。二级杠杆的作用是提高其敏度。经测试，其灵敏度达160Hz/g，是目前公开报道中灵敏度最高的谐振式加速计。它采用的是SOI-MEMS加工工艺。 图3为Berkeley分校研究的表面加工技术制造的双端音叉加速度传感器。传器包括质量块、两个双端音叉和支撑梁，双端音叉通过力放大结构两端的支撑梁与叉连接。音叉通过横向运动的梳状电容驱动在谐振频率点上振动，并作为谐振电路馈回路的一部分，以维持振动。当加速度作用在质量块上时，产生双端音叉轴向方的作用力，改变系统的势能，从而改变音叉的振动频率。其基本原理类似于吉他琴的工作原理，即通过轴向作用力改变谐振频率。两个双端音叉的差动输出可以消除模误差的一阶分量对频率的影响，如温度和交叉轴干扰等。双端音叉加速度传感器利用Sandia国家实验室的Summit工艺制造，实现了微机结构和处理电路的集成。音叉振动频率为145kHz，Q值为10000，噪声功率在300Hz时为-100dBc/HZ，噪声等效水平为 图3音叉式加速度传感器 韩国Seoul National University在硅微加速度计方面也有一定的研究。其于2004宣布制成了一种差分谐振式加速度计。其标度因数达到64Hz/g，谐振频率为24.8kHz，带宽为110Hz，分辨率为5.2ug。2006年发表了应用真空封装以及硅一玻璃阳极键合术制作的单晶硅加速度计，其具体结构如图4所示，其样品为韩国Seoul National University和Samsung公司开发的导航级谐振式加速度传感器DRXL。垂直方向的速度测量利用了静电调节效应，通过加速度产生的惯性力改变弹性梁承受的静电力实现对弹性刚度系数的改变，从而引起谐振频率的变化，并采用两个形状互补的质块实现差动测量。加速度传感器采用末端带有质量块的双端音叉，利用惯性力改变音叉的轴向力，从而改变谐振频率。其测得的谐振频率为24kHz，灵敏度为128Hz/g，频率稳定度为，带宽为110Hz，精度为5.2ug。垂直加速度测量谐振频率为12kHz，灵敏度为70Hz/g，频率稳定度为，带宽为l00Hz，精度为2.5ug。 图4Seoul National University设计的加速度计 2.2国内研究发展现状 国内对于硅微谐振式加速度计的研究工作起步于2000年左右。尽管处于起步阶段，北京大学、清华大学、南京理工大学等多家单位以及研究所正在致力于这方面的研究，并不断地取得研究成果，具有很好的发展前景。 目前在理论研究方面，重庆大学和中国工程物理研究所进行了两级杠杆放大装置的研究，放大倍数达102倍，并给出了仿真验证，灵敏度为5