zls-23b氦质谱检漏仪操作手册..doc

ZLS-23B氦质谱检漏仪操作手册 日常开机 1．将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。 2．将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。 3．等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右（即冷规已激发）再关冷规。 4．开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升（真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开），当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查仪器灵敏度（可调加速电压使信号指示最大），灵敏度达要求后关漏孔。 5．将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。 关机 1．关冷规，关抽速阀。 2．将总电源转到“前级泵”。 3．等20分钟左右，扩散泵已冷，将总电源转到“关”。 仪器灵敏度 1．静态灵敏度 本仪器要求≤2×10-11Pa·m3/s Qmin=×Qo 例：Qmin=×2.07×10-9=1.66×10-11 Pa·m3/s ①Un—仪器噪音和漂移：如无明显摆动，则按表头最灵敏档的1/50或表头最小分格计算，本仪器为2mV。 ②Us—信号值：开、关漏孔在仪器放大器表头读出的电压值。 ③Qo—漏孔漏率值：本仪器所指的漏率值为空气的漏率值，仪器现使用的校准漏孔，其标定值为氦气的漏率值，应按下式换算为空气的漏率值。 Qo＝QHe ÷≈QHe÷2.7 例：5.6×10-9÷2.7＝2.07×10-9 Pa·m3/s M1—空气的分子量为28.96 M2—氦的分子量为4.0026 QHe—氦气的漏率值 2．动态灵敏度 因检漏时选择的方法及分流情况不同，仪器灵敏度可能较静态灵敏度下降，此时的灵敏度应按选定的检漏方法，调好仪器后进行校准，计算公式与以上静态灵敏度公式相同。检漏时，工件的漏率值可按下式计算： Qx＝×Qo 例：Qx＝×2.07×10-9＝1.38×10-8 Pa·m3/s Qx—工件的漏率值。 UX—对工件检漏时仪器放大器表头读出的电压值。 Us—开、关漏孔在仪器放大器表头读出的电压值。 Qo—漏孔漏率值 检漏注意事项 一、工件要保持清洁、干燥。 二、对工件喷氦应按以下顺序进行： ①从上往下。 ②从靠近测试口到远离测试口。 三、喷氦时应经常检查喷枪口是否有氦气喷出。 四、检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。 五、对同一工件，如有两处以上漏点，应排除最大的漏点后，再对其它地方检漏。 六、装工件时应使连接处密封好，不能有漏。 七、检漏间应通风良好，避免氦气浓度增高，但应避免强通风。 八、氦气属贵重气体，应避免泄漏浪费。 提高检漏灵敏度方法 尽量开大节流阀。 尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏（当工件抽上真空后，关闭工件与外接泵之间的阀门）。 三、将工件用塑料袋包扎，袋内再充入氦气，（但此法不能测出具体漏点）。 四、使用液氮，全开节流阀，采用不分流检漏，必要时可将抽速阀关小。 使 用 液 氮 一、加液氮：在冷规指针过1·10-2Pa以后，加入液氮。 二、停机前必须将残余液氮排除后，才能关机：关机前先关“冷规”，关抽速阀，将总电源转到“前级泵”，将冷阱内残余液氮排出，再加入热水，等20分钟左右，扩散泵已冷，将总电源转到“关”。 加液氮时应注意防护，防止冻伤，加液氮每次不一定加满，使用中如不够，可再加。 第二天（或定期）将液氮冷阱取下，清洗冷阱内、外筒，再用吹风吹干，安装好后按正常程序开机。 调 氦 峰 在更换灯丝后及每天开始检漏前检查仪器灵敏度达不到要求时进行。 1．调氦峰方法：开漏孔开关，单方向（从75~165V或从165~75V）调加速电压“V”， 使仪器放大器输出表指示值出现一个最大值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明仪器接收到氦信号，即找到氦峰；如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰（出现氦的“V”一般在85~150V之间）。 “V”的变化与表头指示值的关系： 2．分辨不好：（1）氦和重离子分辨差 （2）氦和轻离子分辨差 75V 165V 原因：离子流偏转半径偏大 原因：离子流偏转半径偏小 解决办法：将离子源中的引出缝往 解决办法：将离子源中的引出缝往 3．信号小：