led用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究 study on wet etching cleaning technology of sapphire wafer for led.pdfVIP

遭选堇查皇塑鱼翼星垦蚕警蚤堂錾耋型垦坚团 LE D用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗 技术的研究 郑佳晶，孙敏，张金凤 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京101601) 摘 要：介绍了蓝宝石晶片的清洗原理：通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工 艺试验的研究．提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺，满足了LED领 域的蓝宝石晶片表面洁净度要求。 关键词：蓝宝石晶片；净化工艺；清洗剂；湿法腐蚀 中图分类号：TN305．97 文献标识码：A Wet of on EtchingCleaningTechnologySapphire Study WaferforLED ZHENG Min，ZHANGJinfeng Jiajing，SUN