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2017-08-20 发布于上海
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ka波段宽带薄膜匹配负载设计与制备研究 design and fabrication of ka-band broadband thin film terminations.pdf

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ka波段宽带薄膜匹配负载设计与制备研究 design and fabrication of ka-band broadband thin film terminations

第35卷第4期电子器件 v01．35N。．4 2叭2年8月。“8。“”“1“81…“”8 A“g．2012 andFabricationof Des噜n Ka-BandBma曲andTllinFilm WANG Wmnt Lei，PENGBinl，JlA^G Hongchu∞t，WANG tm￡轴，|dhm}l州《Ek}附州n{n¨㈨。}础1n“g㈣i蕊u吣．U删t¨《Ek￡‰Msc…Hd豫^∞kgy《ckL∽． ·帆en州“610054，“Ⅲ) Abstract：AKa_bandthin6lmtermmationwithbroadband networkhadbeen real matchi“g designedbv fkquencv methodThemicrowavecharacteristicsofthethinnlmteHninationhadbeen simulatedandoDtimizedinADSand sonware．The HFSS simulati6nresullsshowfhattheVSWRofthe矗1mte哪inationislessthaI1．2atthefreouencv of32GHz～40GHz．The teHninationwasfab打cated methodand ra“ge designed byscree“p—nti“g DCmagnetron fheVSWR“tbe矗h—cafcd￡c删j瑚“onj8le33thanl 3at￡be 8putte“”异．Thee。perimenta】re吼l】i8曲t)w小at of30．3GHz～37．4GHz． frequencvrange hin矗1m Keywords：micmwav。passive terrninalionsIbmadband th抽矗lms componen‘；t matching；Ka_band；TaN EEAcc：2120Edoi：10．3969“．issn．100S一9490．2012．04．002 Ka波段宽带薄膜匹配负载设计与制备研究8 王磊，彭斌+，蒋洪川j王渊朝，李凌，张万里 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都610054) 摘要：基于实频法思想设计了Ka波段薄膜匹配负载的宽带匹配网络，并利用ADs和HFss软件进行了仿真和优化。仿真 GHz一40 结果表明，在32 cHz频率范围内，所设计匹配负载的电压驻波比均小于I2。利用丝网印刷以及直流磁控溅射工艺 3 GHz～37．4 制备了所设计的薄膜匹配负载。测试结果表明，所制备的TaN薄膜匹配负载在30 GHz频率范围内．其电压驻波比均小于1．3。关键词：微波无源器件；薄膜匹配负载；宽带肛配；Ka波段；TaN薄膜中图分类号：TN61 文献标识码：A 文章编号：1005—9490(2012)04—0375—04 随着卫星通信，雷达，航天等技术的不断发展．本文利