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inp基rtd特性的数值模拟研究 numerical simulation on characteristics of inp-base resonant tunneling diode

第30卷 第3期 固体电子学研究与进展 V01.30,No.3 2010年9月 OF Sep.,2010 RESEARCHPROGRESSSSE InP基RTD特性的数值模拟研究。 王 伟1’3“ 孙 浩2 孙晓玮1 徐安怀2 齐 鸣2 (·中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050) (2信息功能材料国家重点实验室,上海,200050) (3中国科学院研究生院,北京,100039) 2010—01—12收稿.2010—04—19收改稿 Green’s 摘要:采用基于非平衡格林函数法(Non-equilibrium 结构几何参数、散射参数、发射区和集电区掺杂浓度以及隔离层厚度对InP基RTD器件j—y特性的影响。模拟结 果表明,采用富In组份的势阱有利于降低峰值电压。提高发射区掺杂浓度有利于增大峰值电流密度,而散射则会 导致谷值电流增大,影响其负阻特性. 关键词:磷化锢基共振隧穿二极管;电流一电压特性;非平衡格林函数法;散射 中图分类号:TN313文献标识码:A 文章编号:1000—3819(2010)03-0317一06 NumericalSimulationonCharacteristicsofInP—base Resonant Diode Tunneling WANGWeil·3SUNHa02SUNXiaoweilXUAnhuai2 QIMin92 and Chinese ofSciences, InstituteofMicrosystemInformationTechnologyof Academy (Shanghai Shanghai,200050,CHlV) FunctionalMaterial (StateKey of for Laboratory (SGraduateofChinese of University AcademySciences,BeOing,100039,CHN) numericalsimulationiscarriedoutto the characteristics Abstract:The investigatetransport oftheInP—baseresonant diode(RTD).TheGreen’Sfunction tunneling nOB—equilibrium on simulatorWinGreenisused.Theeffectsof (NEGF)based geometricpa- quantumtransport rameterof andIn—rich welldoublebarrier Gao.47Ino.53As/AlAsquantum

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