ka波段0πmems移相器 a ka-band 0π mems phase shifter.pdfVIP

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2017-08-20 发布于上海
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ka波段0πmems移相器 a ka-band 0π mems phase shifter.pdf

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ka波段0πmems移相器 a ka-band 0π mems phase shifter

第32卷第1期固体电子学研究与进展 V01．32，No．1 OFSSE Feb．，2012 2012年2月 RESEARCHPROGRESS Ka波段0／丌MEMS移相器郁元卫h2’3’朱健2’3 姜理利3 施毅1 (1南京大学电子科学与工程学院，南京．210093) (2微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室．南京，210016)(3南京电子器件研究所，南京，210016) 2011一09一ol收穑。201l—ll-30收改稿摘要：报道了一种Ka波段实时延MEMS移相器芯片。该移相器基于开关线式移相器设计原理，集成了4个 MEMS三端口直接接触式毫米波开关单元，使用共面波导(CPW)传输线，利用阶梯阻抗的方式实现传输线拐角和 MEMS表面牺牲层工艺制作在400 CPW空气桥结构的传输线阻抗匹配．芯片采用RF pm厚的高阻硅村底上，面积 dB，反射损耗小于一15dB。为1．4mm×2．8mm．测试显示，在34～36GHz频率范围内。相移误差3．2。，插入损耗2 关键词：Ka波段；微机电系统移相器；毫米波微机电系统开关；开关线中图分类号：TN623}TN385文献标识码：A 文章编号：1000一3819(zol2)01·0068一05 AKa_band PhaseShifter 0／丌MEMS YUYuanweil·2，3ZHU Lili3SHIYil JIANG Jian2’3 (1Sf^蒯D，彤Pft—铆缸Sci￡，lce口以E咒gi挖e撕开g，M彬玎gUn而们妇，N蛆声行g，210093，明Ⅳ) (2Sfi亡t arf“i如口扎d 4nd丁∞^加ZDgy伽MD，lDZif．Il缸J，zfPgr4据dM耐比胁厶6Dr口fD哪，Ⅳ口穆∥ng，210016，C日Ⅳ) e E￡ectr帆记D咖ices N觚扣ng Imti￡ute，N口n扣锋g．210016，CHN) Ka—band shifteris isbased Abstract：Atrue—time—delayO／ⅡMEMSphase reported，which The onswitched—lineand of4dc—contactseriesMEMSswitches． designcomposed stepped to themismatchcausedthebend serVe waveguide(CPW)linesmitigating by impedancecopIanar connectersand