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! # ·$ ! 第 卷 第 期 年 月 17 5 2006 5 VOl.17 NO.5 Ma 2006 Journalo O toelectronics Laser y f p / 多 量 子 阶 蓝 光 的 盖 层 的 InGaN GaN LED P-GaN MOCVD 生长研究 ! ! ! ! ! ! ! ! 牛 甫辉 王 怀兵 刘建平 刘乃 叁 邢 燕辉 韩 军 邓 军 郭 霞 沈光地 北 京 工业 大学 电控 学 院光 电子 技 术 实 验 室 北 京 100022 摘 要 利 用 金 属有 机 物化 学气 相 淀 积 MOCVD 生 长 了 InGaN GaN 多 量 子 饼 MGW 蓝 光 发 光 二 极 管 了不 同 流量 下 影 响 结 明 LED 研 究 C M 生 长 的 -GaN 盖层 对 器 件 电学 特 性 的 果 表 随着 C M p g p p g 2 2 量 的提 高 流 升 界 点会 迅 速 恶 向压 先 降 进 而 研 究 相 同生 流 漏 电 高 并 且 到达 一 临 化 正 降则 低 后 升 高

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