nomarski棱镜的优化设计 excellent design of nomarski prism.pdfVIP

第34卷第5期 光电工程 、，01．34．No．5 2007年5月 Opto-EIectronicEngineering May，2007 文章编号：1003—501 X(2007)05一0079—05 Nomarski棱镜的优化设计 张思团，叶虎年，许忠宝 (华中科技大学机械学院仪器系，湖北武汉430074) 摘要：NomarSki棱镜广泛应用于微计量检测系统，其应用特点在于将一束偏振光分解为两束振动方向彼此垂直的 偏振光，从而形成干涉成像。在构成的微分干涉相衬显微镜系统中，系统相干面的位置可以通过Nomarski棱镜的 结构参数来决定。本文根据相干平面与系统物镜焦面重合的准则，建立了棱镜各参数间的关系模型。在分析 Nomarski棱镜各参数关系基础上，利用计算机模拟了棱镜各参数的优化设计，绘制了相应参数问的关系曲线，为 棱镜的设计提供了理论依据． 关键词：Nomarski棱镜；微分相干：偏振光；相干平