扩散炉自动上下料系统安全性设计 the automatic loading and unloading diffusion furnace system safety design.pdfVIP

电子工业专用设备 Equipment for Electronic Products Manufacturing 材料制备技术与设备 扩散炉自动上下料系统安全性设计 林伯奇，罗于亮，毛朝斌，陈特超 中国电子科技集团公司第四十八研究所，长沙 ， ( 410111) 摘 要 ： 介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统 ，对自动上下料系统组成进行了介绍 ，着 重讨论了系统的安全性问题 ，并对安全性提出了解决方案 ，该系统控制效果良好 ，能为电池片生 产企业降低人工成本 ，提高生产效率 ，增强了设备的安全性 ，适合大规模电池片生产要求 。 关键词 ： 自动上下料系统；扩散炉 ；系统安全性 中图分类号 ： TN305 文献标识码 ： B 文章编号 ：1004-4507(2013)07-0037-04 The Automatic Loading and Unloading Diffusion Furnace System Safety Design LINBoqi，LUOLiang，MAOZhaobin，CHENTechao (The48thResearchInstituteofCETC，Changsha410111，China) Abstract: A kind ofautomaticloading and unloading system forhorizontaldiffusion furnaceis mentionedinthisdissertation，inwhichthesecurityaboutthissystem isdiscussedandtheresolution isproducedespecially.Thissystem hasgoodcontroleffect，reducelaborcosts，increaseproductivity， and enhancethesecurity ofthedevice，whic hissuitable forlarge-scalesolarcellproduction requirements. Keywords: Automaticloadingandunloadingsystem；Diffusionfurnace；System security 随着晶体硅电池产业的快速发展，电池片生 行的安全性。中国电子科技集团公司第四十八研究 产厂家为了降低人工成本，提高生产效率，增强设 所为适应客户的新要求研制了一套用于扩散炉的 备的安全性，对电池生产设备的要求也不断提高。 自动上下料系统。这套系统能很好地提高扩散炉的 卧式扩散设备作为生产光伏电池的主要设备，其 自动化程度，同时也保证了设备和人的安全。 性能和生产效率尤其受到广大光伏电池生产厂家 的关注，现在电池生产厂家要求提高扩散设备的 1 系统安全性分析 自动化程度，提高人取放舟的安全性，同时要保证 舟在放取的时候SiC桨和舟的安全性[1][2]。 下面结合国内外现有的自动上下料系统进行 因此，设计自动上下料系统时必须考虑系统运 安全性分析。图1为自动上下料系统，从图中可以 收稿日期 ：2013-06-16 Jul． ２013 （总第221 期）37 电子工业专用设备 材料制备技术与设备 Equipment for Electronic Products Manufacturing 看出，本系统是实现石英舟在桨上的自动装卸，因 常，编码器却不能反应传动机构的实际运行情况， 此，包括沿X 轴方向运动的SiC 桨在内，装卸系 给系统带来了安全隐患。 统是一个X、Y、Z三维立体运动系统。由于SiC