铜铅合金的扫描开尔文探针显微镜研究 investigation on cu-pb alloys with scanning kelvin probe microscopy.pdfVIP

第25卷第4期 电 子显微学报 Vol-25．No．4 2006年8月 J伽删of 2006．08 Cmn雠Ⅱec咖n腼c删Sodety 文章编号：1000．6281(2006)04．0348．05 铜铅合金的扫描开尔文探针显微镜研究 周 强1，谢 中，王祝盈2，陈小林2，王岩国2 摘要：本文用扫描开尔文探针显微镜(SⅪM)在具有相分离结构的磁控溅射铜铅合金样品上进行测量分析，得到 了合金薄膜的表面形貌和与微观组份分布相关的表面电势差信息。运用sl(PM技术分析了铜晶粒对合金中粒子生 长的影响。该分析方法无需复杂的样品制备过程，不会破坏样品，对于宏观上具有确定组分的微观相分离样品，可 以由表面电势差像得到不同相的微区分布。比其它常规的分析手段有更高的分辨率、能获得更多的材料微区结 构、组份与性能间关系的信息。 关键词：磁控溅射；开尔文探针显微镜；表面电势差；铜铅合金薄膜 中图分类号：TGl74．444；0484．5；TGll5．2l+5．7文献标识码：A 在微观区域材料组份的分布以及材料的组分与 力显微镜技术的基础上结合开尔文探针技术发展起 性能之间的关系一直为人们所关注。而纳米尺度下 来的，用来测量样品电子功函数差的扫描探针显微 研究材料的物理、化学性能要求相关的技术必须有 镜技术。它要求样品必须导电。sKPM技术是基于 高的灵敏度和高的分辨率。光学显微镜、化学分析、 不同的材料具有不同的电子功函数，从而在具有不 x射线衍射等不能很好地将材料表面形貌特征与材 同相分离结构的样品上获得样品表面的电势差信 料的组份对应起来，难以获得高的空间分辨率；电子 息。图1是sKPM技术测量的原理口一3I。 显微镜具有很高的空间分辨率，但可能引起样品辐 射损伤和相变u’2j。因此，发展一种对组份偏聚敏 感、具有高空间分辨率的常规分析方法，对于具有相 分离结构的材料的研究具有重要的意义。 由于扫描力显微术可以达到纳米级的空间分辨 率，在不同的工作模式下可以得到与样品形貌结构 对应的电学、磁学、力学等物理化学性能的信息b]， 因此，扫描力显微术为材料微区的分析提供了可能， 并广泛应用在各个领域H圳。本文用俄罗斯NrIMDT 图1 Sl(PM测量原理图。 公司的solverP47在扫描开尔文探针显微镜模式下 ofSKPM． Fig．1Principles 研究具有相分离结构的多相铜铅合金薄膜，试图在 der 扫描开尔文显微技术模式下，研究磁控溅射的铜铅 ’探针和样品之间一般存在van waals力、静 伪合金薄膜的微区结构与组分分布特征。在得到样 电力、电磁力、毛细吸引力以及探针和样品的形变所 品高分辨率的表面形貌像的同时获得与组分分布相 产生的弹力。sKPM在半接触工作模式下采用二次 扫描技术测量样品表面形貌和表面电势差信息。第 关的表面电势差像。用西门子公司的D5000x型射 线衍射分析仪cu‰谱线测定镀层结构，并用扫描 一次扫描时，sKPM探针在外界的激励下产生周期 电子显微镜测定其表面形貌和相应的成分分布，与 性机械共振，在半接触模式下测量所得到的样品表 SKPM方法的结果进行了比较。 面形貌信号被储存起来；第二次扫描时，依据第一次