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透镜主动光学的像差补偿性能 performance of aberration compensation of lens active optics
第39卷第8期 光电工程 Vbl.39.NO.8
2012年8月 2
Opto—ElectronicEngineering August,201
18—05
文章编号:1003—501X(2012)08—01
透镜主动光学的像差补偿性能
孙 振,巩 岩
(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春130033)
摘要:针对透射式投影物镜中由于不均匀照明产生的像散,提出了采用平面透镜作为主动光学元件以补偿像散的
方法。本文对直径为0140mm,通光孔径为中120mm的平面透镜的支撑结构进行设计和有限元分析,分析了支
撑结构的各个关键参数、镜片厚度和驱动力大小对面形的影响,得到了支撑结构的关键参数和驱动力对面形的影
响规律为线性曲线,镜片厚度对面形的影响规律为指数下降曲线和不同驱动力导致的面形图。结果表明,本支撑
结构在补偿像散时,面形补偿分辨率约为2am,引入的高阶像差可以忽略,设计分析结果为投影物镜中主动光学
镜片的选择和支撑结构的设计及实验提供依据。
关键词:主动光学;平面透镜;像散;投影物镜
中图分类号:TH745 文献标志码:A
of ofLensActive
PerformanceAberration
Compensation Optics
SUNZhen,GONGYan
State Institute Mechanicsand
t KeyLaboratowofAppliedOptics,ChangchunofOptics,Fine Physics,
Chinese 1
AcademyofSciences,Changchun30033,China)
Abstract:Amethodwhich asactive elementis to the
adoptedplane—parallelplate optics proposedcompensate
becauseofnon—uniformedilluminationin structureis and
astigmatism projectionobjective,Thesupporting designed
forthe with0140mmdiameter.The of thicknessof
structure,the
analyzedplane—parallelplate keyparameterssupposing
lensandthe forceare toreceivetheinfluencerulestothesurface resultsindicatethatthe
driving analyzed quality.The
influenceofthe and forcethe
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