微波电路的MEMS开关进展.PDF

维普资讯 第 17卷第 3期 微 波 学 报 Vo】． 【7No．3 2001年 9月 JOURNAl (IFM ICROW AVES Sep．2001 微波 电路 的MEMS开关进展 Progresson M EM S SwitchesforM icrowaveCircuits 郑惟彬 黄度安 李拂 晓 (I．东南大学馓电子中心 ，南京 210096；2．南京电子器件研究所 ，南京 210016) 《 三 ZHENG Weibin。．HUANG Qingan。，L1Fuxiao l 、 (1．NlicroelectronicCenter，SoutheaMUniversitytNanfing 2]0096) (2．Na ingElectronicDevicesInstitute，Nanjing210016) 【摘要】 开关是微波信号变换 的关键元件。和传统的半导体开关相 比，射频微机电系统 (RF MEMS)开关具有优 良的高频特性和 固有 的重量轻 、尺寸小、低功耗 等优点 ，而且其制作工艺 和传 统的CMOS工艺相兼容 。本文较为详细地论述 了串联 悬臂粱开关 、并联悬臂粱开关 和膜 开关 的工 作照理及典型的性能参数 由于其优越 的微波特性 ，MEMS开关 已在许多 电路和系统 中一包括微波 前端 电路、数字 电容器组和移相 网络 中得到应用 。 关蕾词 ： 微机 电系统 ．徽加工开关 ，悬臂梁开关 ，膜开关 ，微波 电路 Abstract： Switches are key componentswith convert microwave signals．Compared to conventiona](usuaHysemiconductor)switches．RFM EMS switcheshavesuperiorhigh—frequency performance．Furthermore，thefabrication technologyofRF MEM Sswitchesiscompatiblewith thatofCMOS．Inthispape r，theoperationprincipleandtypicalperformanceparametersofseries cantleverbeam sw tehes，shuntcantileverbeam switchesand membraneswitchesarediscussed in detail．Becauseoftheirsuperiormicrowave performance．M EM Sswitchesarebeingdevelope d in many circuits and systems— including radio front—ends， capacitor banks and phase—shifting netw o rks．