陶瓷封装激光打标工艺研究 research of laser marking process for ceramic packaging.pdfVIP

第13卷第8期 电　子　与　封　装 第 卷，第 期 电　子　与　封　装 总 第124期 13 8 Vo l . 1 3 ，N o . 8 ELECTRONICS PACKAGING 2013年8月 陶瓷封装激光打标工艺研究 陈　陶，郭　伟 （无锡中微高科电子有限公司，江苏无锡 214035 ） 摘　要：激光打标作为一种新型的标记技术，在半导体行业有着愈发重要的应用。文章简单介绍了 激光打标机原理及控制系统，并通过对陶瓷封装过程中镀镍柯伐盖板表面的打标工艺试验及结果分 析，研究了激光功率、频率、速度、延时等参数对标记效果的影响。研究结果表明，激光功率和速 度对标记效果的影响呈线性规律，频率无线性规律可寻，但存在一最佳值区域；延时参数的设置不 当会导致某些点标记过重或线条缺笔、字符变形等。 关键词：激光打标；陶瓷封装；激光打标参数 中图分类号：TN305.94 　 文献标识码：A　　 文章编号：1681-1070 （2013 ）08-0014-03 Research of Laser Marking Process for Ceramic Packaging CHEN Tao, GUO Wei （Wuxi Zhongwei High-tech Electronics Co., Ltd , Wuxi 214035, China） Abstract: As a new type of marking technology, laser marking has the more important applications in semiconductor industry. This article introduces the theory and control systems of laser marker briefly, and analyzes the marking effects by the experiments of the laser marking parameters such as power, frequency, speed and delay on nickel-plated Kovar lid. The research shows that the marking effects of laser power and speed present linear rule, frequency doesn’t present linear rule but exists the best area; the improper settings of delay parameter cause some marking points too deep, lost or make the characters deformation and so on. Key words: laser marking; ceramic package; laser marking parameters 1 引言 2 激光打标机原理及系统 打标是在工件表面打出各种文字、符号、图案 2.1 激光打标机原理 等，以制作永久性商标、标记，是生产工艺中广泛 激光打标机是利用激光与物质相互作用的特殊 应用的一种技术。激光打标属于一种非接触的打标 效应，在材料表面加工出所需要的字符、图案。当 方式，与传统的电化学、机械等标记方法相比，具 激光束照射材料表面时，除一