数字哈特曼波前检测仪宣传手册.pdfVIP

数字哈特曼波前检测仪 哈特曼面形检测仪 哈特曼光束诊断仪 前言 中国科学院光电技术研究所自适应光学实验室自 1988 年在国内 首先开始研制，并于 1989 年完成第一台数字哈特曼波前检测仪，用 于自适应光学系统以来，相继开发了口径从 Ф4.16～Ф300、波长从 紫外到红外、采样频率从静态到 6500Hz 数字哈特曼波前检测仪近百 台（套）。它们分别被光电所、安光所、哈尔滨工业大学、武汉大学、 九院等科研院所应用于自适应光学系统的波前探测、激光器的光束质 量诊断、光束传输的动态变化测量、大气湍流测量、光学元件及系统 的面形与像差测量。在仪器应用范围及种类方面，国内外还没有一家 公司能与我们比肩。 原理 哈特曼光学波前检测仪是基于经过改进的哈特曼测试法。经典的 哈特曼测试方法原来用于测量大型望远镜中光学系统的像差，在这种 测试方法中，哈特曼板(Hartmann Screen)放在被测试器件之前 （图1）。 当平行光束照射到哈特曼板时，在待检物焦点前后的位置上（E1 、 E2 处），形成与哈特曼板上的小孔位置相对应的光斑。通过照相方法 将这些光斑的位置记录下来，再把这些点的位置映射到待检物镜上。 通过这些在焦点前后位置上各个不同光斑的位置信息以及哈特曼板 的有关数据，就可以计算出被检物镜的像差。 图 1. 经典的哈特曼测试法 图2.哈特曼波前检测仪原理 哈特曼波前检测仪通过对经典哈特曼测试法的改进，大大增强了 哈特曼测试法的适应性，扩展了其应用范围。哈特曼传感器采用孔径 分割和聚焦光学器件将被测孔径分割成若干子孔径并聚焦到 CCD 探 测器上（图 2 ），通过 CCD 视频信号的处理计算出聚焦光斑的重心位 置，获得入射波前的波前斜率信息，再通过波前重构计算，得到全孔 径上波前相位分布，同时还可通过测量各子孔径光斑的光强获得全口 径内光强分布信息，从而获得被测光束的复振幅空间分布的信息。通 过不同帧频的 CCD 信号连续测量，就可以获得动态波前误差，因而 可以测量光学误差的时间——空间动态变化。 应用领域 光学元件（平面、球面、非球面、透镜）面形检测（PV、RMS、 二维、三维，曲率半径） 光学面形动态变化测量 光学系统像差检测（PSF、MTF等） 光束质量诊断（M2、β、PSF、光强分布等） 特点优点 可替代数字干涉仪和光束诊断仪 可直接在通用车间环境下使用 可连续动态测量、波面实时显示 较低价格，高性价比 技术指标 测量波长:0.308μm～3.8μm 测量精度：RMS≤λ/50，PV≤λ/10 重复性精度：RMS≤λ/250，PV≤λ/50 通光口径：Φ4.16～Φ300mm 光强范围：从光子计数水平的微光到普通光 可分析的像差模式阶数：119 阶Zernike 系数 采样频率：从静态到6500Hz 软件功能 斜率探测算法； 圆域Zernike 模式波前重构算法，给出波前的前65 阶Zernike 模式系数；给出波前的等高图、三维面形图； 区域法波前重构算法，能用于任意口径形状的入射波前，并且 不限制口径上的系统遮拦方式； 能够处理任意数量子孔径的哈特曼传感器的测试数据； 子孔径缺失造成数据不完整时，能够对正常探测到的部分波前 进行重构； 以实验室的标定基准计算被测波前的“绝对”相位分布； 以任意一组作为参考，分析光束质量的相对变化过程； 计算PSF 和MTF；和环围能量、Strehl 比等 应用程序用户界面