镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应 aging and humidity effects of optical surface deformation after deposition.pdfVIP

第21卷第6期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．21，No．6 2009年6月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jun．，2009 文章编号： 1001—4322(2009)06一0851一04 镀膜元件面形变化的时间效应和湿度效应‘ 祝 沛， 沈卫星， 陈卫华， 张 伟 (中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室，上海201800) 摘要： 对镀制强激光薄膜的光学元件在外界环境中时。表面面形发生的变化进行了研究。理论分析了 表面面形的变化机制，明确水致应力具有物理和化学两种形成机制，是改变镀膜元件面形的主要因素；实验研 究了镀制激光高反膜的K9材料元件存放过程中面形变化趋势，发现这种趋势变化具有时间效应和湿度效应。 关键词： 薄膜≠水致应力； 面形； 时间效应# 湿度效应 中图分类号：0484 文献标志码：A 面形是表征光学元件质量和决定光束质量的重要参数。在强激光装置中，为了提高光学元件性能，通常需 要在元件表面镀制薄膜。长