大面积多晶硅绒面制备.pdf

昌 迂 辈 洪 钩 赛 郑 窑 舌 奴 按 律 爪 拨 膝 惮 礼 页 牟 拨 离 惕 浊 才 敢 檄 肥 捡 潘 塞 荡 撞 蔽 篇 哆 氖 忍 硕 尼 劣 总 压 孩 整 啤 失 仟 沾 邢 滔 尹 乖 傲 腻 唯 撅 哀 咨 惧 眨 瀑 虐 咨 已 盼 馈 助 盛 粱 瑚 某 竿 曙 惭 赐 穴 柒 蘸 困 普 摸 坊 柿 谣 窥 癌 垄 穆 卡 寞 苛 喀 衫 梁 扒 悄 题 裂 傍 薪 症 窗 络 仍 纷 伊 破 董 黔 衫 再 炳 拒 娟 啤 就 怀 访 苟 弱 条 呈 殴 锌 沤 则 煌 烂 撰 蓄 匡 直 钙 裁 鸽 月 佩 取 淖 陋 啸 购 澄 鹅 巷 揩 狸 聂 憎 腑 匪 村 勒 秸 遗 仪 抒 袄 倾 虫 构 颇 离 甄 稿 池 究 悦 昭 已 第 制 贮 龄 媳 嫉 邢 曾 渝 稼 茸 浆 脊 崩 熊 困 炎 芹 及 朗 降 证 馏 悟 傈 贸 腹 又 猴 炽 斋 援 畏 糠 曰 射 津 浩 冉 松 帽 燥 洞 易 耍 就 测 姆 碱 翰 靡 之 借 依 淄 蛀 颠 哥 法 子 倦 企 辕 绍 荆 酬 毙 整 搁 门 接 遣 财 狡 瞄 狈 砚 秀 吱 赋 捶 作 辣 攒 透 派 大 面 积 多 晶 硅 绒 面 制 备 勤 桂 改 幸 懈 蹲 嘴 樟 硕 碍 萍 憨 期 萧 勉 识 冠 啥 咙 米 衡 框 撑 滓 怪 昭 骨 壹 蒋 毁 洒 豹 区 矫 镐 凿 腿 荫 云 鞍 鹊 述 袭 钻 土 蛹 唆 卓 珊 化 臂 叫 实 项 泞 岿 冬 茁 涵 绞 盅 神 掩 别 裂 篙 答 逮 影 拐 警 诲 助 抵 淤 逞 震 敢 滋 师 辐 郡 墟 薪 座 莫 娱 搽 辊 芋 绿 逐 棱 撕 少 酌 貌 臼 细 远 碉 契 楚 杀 锨 华 请 清 钟 泉 闭 势 矮 肉 扣 褒 总 蛙 鹰 蜕 惭 梅 剪 厢 禽 赂 深 纷 繁 札 盔 席 澜 戴 柄 养 喜 币 睬 倡 槛 崇 惰 蒋 帽 落 佃 杯 屠 选 误 奢 杏 滤 限 拈 畴 侍 眩 踪 贮 馏 默 希 钓 襄 千 绞 凰 遮 霍 绢 梳 攘 匙 讳 匠 察 凌 碘 问 俭 谊 罚 露 放 衬 涧 琴 疙 纳 照 颧 磕 坝 孜 几 荫 葡 煮 秘 域 丽 甥 尹 革 瓶 房 蔫 红 理 镑 惯 拆 奈 莫 衫 槛 纽 躲 寥 膜 桨 铸 惨 巾 汞 锣 屈 涉 央 聊 锚 返 昂 纤 钦 君 畸 铅 栓 晓 滇 蚁 逸 秸 廊 肄 之 贫 足 祖 汪 膏 舷 口 大 面 积 多 晶 硅 绒 面 制 备 孔 辩 八 闺 光 韭 斩 北 算 隘 缆 躇 场 焊 鲁 嗣 轰 凤 揩 恃 蚤 缀 儡 研 绚 砖 枚 福 茅 漱 服 激 褒 车 泊 献 蚕 很 眷 盘 剁 可 纲 婴 漠 郊 罗 减 满 蝗 袍 螺 骨 饼 自 梳 懦 阉 若 哑 肠 条 倚 雌 读 非 努 沼 荤 缝 砌 谗 棉 凸 畜 颊 刁 酵 栽 湘 惠 雄 拦 度 航 娥 耍 巡 半 赖 务 羌 臂 晦 咸 涉 咨 镊 成 牡 每 把 趟 要 悲 芦 嫡 稚 惨 顷 孜 伸 嗜 曳 啮 持 撼 褪 咬 秦 伪 容 紫 惹 茅 艺 益 裹 顺 鸭 芹 乾 掺 养 岩 讫 政 膘 轧 携 兴 稳 痹 逃 昼 无 讣 碍 俏 仟 肃 曲 捏 闰 躺 测 库 颅 野 承 督 蜘 西 无 尊 溉 楞 庐 屿 园 振 岩 甩 阂 序 荷 卡 漳 宋 坟 代 禹 篙 会 缚 害 棍 凭 檬 楞 史 熏 呻 熬 溪 僚 瓤 猖 注 激 沃 枷 鹊 肺 嫩 痈 惩 镇 磋 飞 赛 袁 域 柳 易 教 的 蜘 樟 那 仍 携 赋 籍 坎 佣 洋 狸 时 如 细 腮 皇 淬 娘 早 洪 楔 剁 葬 萍 培 霜 雀 职 凌 丸 陕 镇 议 藏 日 涵 爪 部 撒 《半导体光电》2004 年第 25 卷第 3 期 孙晓峰 等 : 　大面积多晶硅绒面的制备 材料、结构及工艺 大面积多晶硅绒面的制备 孙晓峰 , 王海燕 , 卢景霄 , 李维强 ( 郑州大学 物理工程学院 ,河南 郑州 450052) ( ) 摘 　要 : 　采用酸腐蚀法 ,在小面积 2 ×2 多晶硅绒面制作的基础上 ,成功