由ebsd谱三维重构晶体的bravais点阵 3d reconstruction for bravais lattice of unknown crystals using ebsd pattern.pdfVIP

第27卷第6期 电子显微学报 Vol一27。No．6 of 2008．12 2008年12月 JournalChineseElectron MicroscopySociety 文章编号：1000．6281(2008)06-0499—07 由EBSD谱三维重构晶体的Bravais点阵 于忠辉，韩 明+，庞年斌，孙瑞涛，尹文红 (山东理工大学机械工程学院，山东淄博255049) 摘要：本文提出了利用电子背散射衍射(EBSD)技术确定块状晶体未知点阵的新思路。详细介绍了从EBSD谱中 的二维面信息到三维空间的重构算法，利用超定方程组，由菊池带宽度及其夹角信息，求出三维倒易初基胞的晶胞 参数。结果表明，用单张EBSD花样完全可以解析未知晶体的Bmvms点阵类型厦晶胞参数。 关毽词：电子背散射衍射；未知晶体；三维重构；Bravais点阵 文献标识码：A 中图分类号：07；TGll5．21+5．3；TGll5．23 5．0 EBSD是20世纪90年代发展起来的一种显微衍射花样由ChannelEBSD附件采集。实验的相 结构分析技术¨卫1，它特别适合于研究块状晶体试样 机常数与波长积为1．09mm·llm(菊池带宽度与对应 表面的晶体学取向信息，目前已成为扫描电子显微 晶面间距的乘积)。图谱保存为8位灰度格式的 镜的重要附件。其应用主要方面为：测定单晶体取 dpi。 bmp图形文件，图像分辨率为72 向b]，分析多晶体的织构。4】，鉴别合金相[5’61及测量 应用自行开发的计算机辅助测量软件，用鼠标 晶粒尺寸no等。 定位并结合人眼判断的方法测量EBSD谱中菊池带 EBSD谱与透射电子显微镜下得到的菊池谱相的宽度和方位角，菊池带方位角用其中心线方位角 类似，但前者衍射角度更大，可提供更多的晶体二维 替代，其取值范围为00一180。。在确定菊池带中心 倒易信息。典型的EBSD谱由多条菊池带组成，带线时，尽可能使经过同一个菊池极的菊池带中心线 与带之间相互交叉形成菊池极。菊池带反映了参与 交于一点，实际测量时若中心线交点间距小于5个 衍射的晶面信息，带的宽度与晶体倒易矢量的长度 像素，则这些交点归入同一个菊池极。当一条中心 成正比，带之间的夹角对应于倒易矢量之间的夹角。 线出现多个带宽时，取其中的最小值。对于边缘不 经过同一菊池极的菊池带，其宽度及夹角揭示了二 严格平行的菊池带，取其带宽的中间值，所有菊池带 维倒易面上矢量的分布特征，因此EBSD谱经过三宽度和方位角的测量值均保留两位小数。 维重构可以确定未知晶体的点阵类型和点阵参数。 2结果与讨论 然而目前尚未有这方面工作的报道。 尽管EBSD谱提供了样品丰富的晶体学信息， 图l给出本文使用的EBSD花样。图2为菊池 但由于其采集装置的轴线与信号发射方向并不平 带中心线的示意图，中心线上的数字代表菊池带的 行，致使采集的EBSD花样出现明显的几何畸变，在序号，中心线交点的数字表示菊池极的序号。从图 图谱中具体表现为某些菊池带的两侧并不呈严格的 1和图2中可以看出该EBSD花样含有37条明显的 平行直线，常呈喇叭口状。此外，晶体内部的缺陷也 菊池带和139个菊池极。 使菊池带边缘的衬度变得漫散和模糊H1，这些因素 表1列出了各