铁电薄膜材料的制备技术及应用.pdfVIP

2008年 第2期 广 东 化 工 第35卷 总第178期 WV~W． 27 铁电薄膜材料的制备技术及应用 郭旭侠 ，王江波2 Nd,英 (1．宝鸡文理学院 机电工程系，陕西 宝鸡 721007；2．陕西烽火通信集团有限公司，陕西 宝鸡 721006) 【摘 要】铁电薄膜材料、集成铁电器件以及与之相应的物理问题，引起物理学、材料科学与工程、微电子与光电子 学等领域的科学技术人员和学者的关注。文章介绍了铁电薄膜新研究进展，对目前最常用的几种主要制备方法进行了评 述，重点分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点。并对未来的可能进展作了简单的描述，指出了目前关于铁电薄膜研究 中的一些问题，并提出一些解决问题的办法。 【关键词】集成铁电器件；铁电薄膜；制备技术；研究进展 Preparation Technology and Application of Ferroelectric Thin Film Guo Xuxia ，Wang Jiangbo。Zhou Xiaoying。 ， (1．Mechanical and Electrical Engineering，Baoji University ofArts and Science，Baoji 721007； 2．Shanxi Fenghuo Communication Group Co．，Ltd．，Baoji 72 1006，China) Abstract：Ferroelectric thin films materials，integrated ferroelectric device and some physical questions correspond to these have been paid much attention by the scientists of physic science，material science，micro—electronics and photoelectron science．The research progress on ferroelectric thin film was introduced in the paper．Some main preparation technologies were summarized in detail at present．The advantages and disadvantage of different processing technology for ferroelectric thin films were discussed especially．In addition，possible future development were briefly summarized．Some important aspects and several problems in ferroelectric thin film were outlined，and the methods solving these problems was also pointed out． Keywords：integrated ferroelectric device；ferroelectric thin film；preparation technology；research progress 具有铁电性，且厚度在数十纳米至数微米的薄膜材料称为 电材料提出了小型、轻量、可集成等更高的要求，从而使一大 铁电薄膜材料。铁电薄膜材料是一类重要的功能性薄膜材料， 批新型铁电薄膜器件(或器件原型)不断涌现出来。因此，铁电 具有介电性、铁电开关效应、压电效应、热释电效应、电光效