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焊攘与切割I Weldi咆 Cutti
MOCVD 喷淋头的焊接工艺研究
中国电子科技集团公司第四十八研究所 (湖南长沙 410111) 胡晓宇彭志虹何华云 王慧勇
[ 摘要] 喷淋头是 MOCVD 反应器中的关键部件，其设计和加工难度大。采用特殊的结构设计和合理
工艺方法，配合加工工装和焊接夹具，选择合理的基准面和焊接参数，降低了加工难度。
(1)垂直喷淋方式 以 Thomas Swan 的 CCS 系列和
-、 概述
V耐心的 TurboDisk 系列 MOCVD 为代表。
金属有机物化学气相淀积(MOCVD) 设备多种多
(2 )双束流方式 以日本 Nichia 的双流(TF )
样，其差别主要体现在气体引入方式。 气体引人方式决
MOCVD 为代表。
定了整个反应器的结构、加热方式及衬底承载和旋转方
(3) NOZZLE (径向三重流)方式 以 AIXTRO
式。 目前国际上比较先进的商用 MOCVD 反应器的气体
的 AIX 系列 MOCVD 为代表。
引人包括以下三种基本方式(如图 l 所示)。
另外，有文献报道了一种反向垂直喷淋式的
主气流
侧向气流N +H
2 2
HHI ™芝旦232 MOCVD 反应器，进气口与出气口均在衬底上方(如图
2 所示) ，但目前仅限于计算机模拟研究，尚没有在实用
的设备上得到验证。
与J
| 基片室 | 出气口
(a) 双束流方式
衬底
气体入口
托盘
流动隔板
图 2 反向垂直喷淋式 MOCVD 反应器
目前，国内无论是在光电子领域(半导体照明，半
排出气一
导体激光器，红外、紫外探测器，空间太阳能电池等),
还是在微电子领域(HEMT、 HBT、 PHEMT 器件，
(b) 垂直喷淋
气体入口 托盘
MESFET 微波与毫米披器件等)的研究型或生产型
MOCVD 基本上都依赖进口，仅在少数科研单位有自制
的实验型 MOCVD 设备。
2003 年5 月，中国电子科技集团公司第四十八研
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